[发明专利]一种颗粒检测装置及方法有效

专利信息
申请号: 201710400547.4 申请日: 2017-05-31
公开(公告)号: CN108982536B 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 贾俊伟;周静怡 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G01N21/94 分类号: G01N21/94
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 颗粒 检测 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种颗粒检测装置,用于检测物料的第一检测面和第二检测面的颗粒度,其特征在于,包括:

一激光发射器,用于提供入射激光;

分束镜,用于将所述入射激光进行折射和反射后生成第一激光束和第二激光束;

用于产生延时周期的光束延时器,用于将所述第二激光束进行透射后生成第三激光束,所述第三激光束的时序比所述第二激光束延后一个延时周期T;

第一入射镜组和第二入射镜组,所述第一入射镜组将第一激光束折射和/或反射至所述第一检测面,所述第二入射镜组将所述第三激光束折射和/或反射至所述第二检测面;

用于检测所述第一检测面反射的所述第一激光束信号的第一检测器,用于检测所述第二检测面反射的所述第三激光束信号的第二检测器。

2.如权利要求1所述的一种颗粒检测装置,其特征在于,所述分束镜为1/2分束镜,所述第一激光束的激光强度等于所述第二激光束。

3.如权利要求1所述的一种颗粒检测装置,其特征在于,所述激光发射器为闪烁光源,其闪烁周期为T1,所述第一检测器的第一检测周期为T2,所述第二检测器的第二检测周期T3,T1+T>T2>T1,T1+T>T3>T1

4.如权利要求1所述的一种颗粒检测装置,其特征在于,还包括用于所述第一检测面反射所述第一激光束成像的第一成像镜组和用于所述第二检测面反射所述第三激光束成像的第二成像镜组。

5.如权利要求4所述的一种颗粒检测装置,其特征在于,还包括测距传感器,所述测距传感器测量所述第一检测面和/或第二检测面位置信息,作为所述第一成像镜组和/或所述第二成像镜组调焦参考信息。

6.如权利要求4所述的一种颗粒检测装置,其特征在于,还包括焦距调整装置,所述焦距调整装置控制并带动所述第一成像镜组和/或所述第二成像镜组移动,调节成像光路的焦距。

7.如权利要求4所述的一种颗粒检测装置,其特征在于,还包括变焦调整装置,所述第一成像镜组和/或所述第二成像镜组为液体透镜,所述变焦调整装置用于控制并改变所述第一成像镜组和/或所述第二成像镜组的焦距。

8.如权利要求1所述的一种颗粒检测装置,其特征在于,所述第一检测器和/或所述第二检测器为CCD、CMOS或TDI相机。

9.使用权利要求1-8任一项所述的一种颗粒检测装置进行颗粒检测的方法,其特征在于,包括:

S1:将被测物料放置在待检测位置,所述第一检测面位于所述第一检测器视场内,所述第二检测面位于所述第二检测器视场内;

S2:所述激光发射器打开,所述第一检测器在第一检测周期内检测所述第一检测面反射的所述第一激光束信号;

S3:所述第二检测器在第二检测周期内检测所述第二检测面反射的所述第二激光束信号。

10.如权利要求9所述的一种颗粒检测方法,其特征在于,还包括S4:以步进运动的形式平移所述被测物料,重复S2至S3,扫描所述被测物料。

11.如权利要求9所述的一种颗粒检测方法,其特征在于,S1还包括:

S11:将所述被测物料放置在待检测位置;

S12:测量所述被测物料的位置信息;

S13:调节所述第一检测面反射的所述第一激光束信号的焦距和/或第二检测面反射的所述第二激光束信号的焦距。

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