[发明专利]基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的方法及其系统

权利要求书

1.一种基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的方法，该方法用于检测一透明板材的表面污染，其特征在于，该透明板材具有相对平行的一受测的第一表面及一未受测的第二表面，该方法至少包含以下步骤：

(a)、于一透明板材的受测表面一侧提供一光源：该光源相对透明板材表面的界面法线间形成有一夹角；

(b)、提供一入射通道，供形成一射向透明板材受测表面的入射光线：令该入射光线于透明板材的受测表面上形成一等角的一次反射光线，且于穿出该透明板材的未测表面形成折射后的二次或二次以上反射光线；

(c)、提供一反射通道，供相对该射向透明板材受测表面的入射光线反射的一次反射光线通过：该反射通道的宽度介于界面法线与经该透明板材反射的二次反射光线之间且不超过该第二反射光线；

(d)、利用一影像传感器撷取经反射通道的一次反射光线；以及

(e)、使透明板材相对光源、影像传感器及光栅运动而形成透明板材的受测表面的画面，供判读污染。

2.如权利要求1所述的基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的方法，其特征在于，该步骤(b)入射角的角度为15～45度。

3.如权利要求1或2所述的基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的方法，其特征在于，该步骤(b)的入射角的角度为27～33度。

4.如权利要求1所述的基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的方法，其特征在于，该步骤(b)的入射通道的宽度是0.1mm～0.5mm。

5.如权利要求1或4所述的基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的方法，其特征在于，该步骤(c)的反射通道的宽度是0.2mm～20mm。

6.一种基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的系统，该系统用于检测一透明板材的表面污染，其特征在于，该透明板材具有相对平行的一受测的第一表面及一未受测的第二表面，该系统包含有一能发出光线的光源、一供接收光线的影像传感器及一供遮蔽光线的光栅，且透明板材能够与光源、影像传感器及光栅相对运动；

其中光源与影像传感器设于对应该透明板材中受测第一表面的一侧，该光源与该影像传感器等角分设于第一表面的界面法线的两侧；

该光栅设于光源及影像传感器与透明板材之间，且该光栅于相对界面法线一侧具有一对应光源的入射通道，令该光源能经入射通道产生一射向透明板材第一表面的入射光线，又该光栅异于界面法线另一侧具有一反射通道，该反射通道供前述入射光线经透明板材的受测第一表面反射后形成的一次反射光线穿过，该一次反射光线供与光源等角设置的影像传感器接收，且反射通道的宽度介于界面法线与经该透明板材的未受测第二表面反射的二次反射光线之间且不超过该第二反射光线。

7.如权利要求6所述的基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的系统，其特征在于，该光源的入射光线的入射角的角度为15～45度。

8.如权利要求6或7所述的基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的系统，其特征在于，该光源的入射光线的入射角角度为27～33度。

9.如权利要求6所述的基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的系统，其特征在于，该光栅的入射通道的宽度是0.1mm～0.5mm。

10.如权利要求6或9所述的基于利用光学技术扫描透明板材表面污染的系统，其特征在于，该光栅的反射通道的宽度是0.2mm～20mm。

11.一种可供检测一板材的系统，其特征在于，包含：

一光源，用于产生射向该板材的一表面的一入射光线，该入射光线经过该板材后产生一一次反射光线及至少一二次反射光线；

一影像传感器；及

一遮蔽部位，用以遮蔽该至少一二次反射光线，且让该一次反射光线通过后由该影像传感器接收。