[发明专利]具有压电致动的MEMS设备、投射MEMS系统以及相关驱动方法

权利要求书

1.一种MEMS设备，包括固定的结构(22)，所述固定的结构界定了腔体(24)；以及悬置的结构(26)，所述悬置的结构覆盖所述腔体并且包括：

-内部结构(29；109)；以及

-至少一个第一臂(B1)以及一个第二臂(B2)，所述第一臂和所述第二臂被安排在所述内部结构周围并且各自具有对应第一端和对应第二端，所述第一端被固定至所述固定的结构并且相隔一定距离成角度地安排，所述第二端被固定至所述内部结构，相隔一定距离成角度地安排并且相对于相应第一端在同一旋转方向上成角度地安排；以及

-多个压电致动器(50，52，54，56)，所述压电致动器中的每一个耦合至所述第一臂或耦合至所述第二臂，并且可被驱动以便引起其所耦合至的所述臂的变形以及所述内部结构的随后旋转；

并且其中，在静止状况下，所述第一臂和所述第二臂中的每一个具有带有对应凹陷的对应细长部分(30，32)，所述内部结构在所述第一臂和所述第二臂的所述细长部分的所述凹陷内部分地延伸。

2.根据权利要求1所述的MEMS设备，其中，在静止状况下，所述第一臂(B1)和所述第二臂(B2)在所述内部结构(29)周围在至少部分偏移的并且具有包括在区间[65°，175°]内的幅度的角域上延伸。

3.根据权利要求2所述的MEMS设备，其中，所述第一臂(B1)和所述第二臂(B2)的所述角域不相交。

4.根据以上权利要求中的任一项所述的MEMS设备，其中，所述第一臂(B1)和所述第二臂(B2)的所述第二端以180°的角距离安排。

5.根据以上权利要求中的任一项所述的MEMS设备，其中，所述第一臂(B1)和所述第二臂(B2)的所述第一端以180°的角距离安排。

6.根据以上权利要求中的任一项所述的MEMS设备，其中，在静止状况下，所述第一细长部分(30)和所述第二细长部分(32)各自形成单个凹陷。

7.根据权利要求6所述的MEMS设备，其中，所述第一细长部分(30)和所述第二细长部分(32)中的每一个具有对应对称线，所述对称线具有以单调方式成角度变化的曲率半径。

8.根据权利要求6或权利要求7所述的MEMS设备，其中，所述第一细长部分(30)和所述第二细长部分(32)中的每一个的宽度在所述相应臂(B1，B2)的所述第二端的方向上减小。

9.根据权利要求6至8中的任一项所述的MEMS设备，其中，所述第一细长部分(30)和所述第二细长部分(32)分别形成所述第一臂(B1)和所述第二臂(B2)的所述第一端；并且其中，所述第一臂和所述第二臂进一步分别包括第一端子部分(31)和第二端子部分(33)，所述第一端子部分和第二端子部分分别形成所述第一臂和所述第二臂的所述第二端；并且其中，所述第一端子部分和所述第二端子部分分别连接至所述第一细长部分和所述第二细长部分的相应部分并且形成具有单个凹陷的弯曲突出，其中，凹陷面向所述内部结构(29)，所述弯曲突出相对于所述第一细长部分和所述第二细长部分的所述部分径向地突出。

10.根据以上权利要求中的任一项所述的MEMS设备，其中，所述压电致动器(50，52，54，56)中的每一个被安排在其所耦合至的所述臂(B1，B2)的所述细长部分上。

11.根据权利要求10所述的MEMS设备，包括第一压电致动器(50)、第二压电致动器(52)、第三压电致动器(54)以及第四压电致动器(56)，所述第一压电致动器和所述第三压电致动器被安排在所述第一臂(B1)的所述细长部分(30)上，所述第二压电致动器和所述第四压电致动器以分别对称于所述第一压电致动器和所述第二压电致动器的方式被安排在所述第二臂(B2)的所述细长部分(52，56)上。