[发明专利]一种灯具

说明书

本发明公开了一种灯具，包括容置体，容置体包括底板以及与底板连接且向底板一侧延伸的侧板，底板和侧板围设成一具有出光口的容置腔，底板的位于容置腔内部的区域上突出设置有至少一固定曲面；至少一光源组件，光源组件包括固定于固定曲面上的多个LED光源，其中侧板与底板的连接处设置有第一反射曲面，以将LED光源的出射光线反射至出光口。通过上述方式，本发明能够实现混光效果的高均一性，缩短混光距离，进而实现灯具的轻薄化，同时也减少了设计时间和成本消耗。

技术领域

本发明涉及半导体工艺设备领域，特别是涉及一种灯具。

背景技术

在半导体制造工艺过程中，通常需要对沉积的薄膜进行固化，以获得所需的薄膜性能。以往常采用加热烘烤达到固化薄膜的目的，但是热固化速度慢、能耗高、设备及工艺复杂，目前已逐渐被紫外固化(UV cure)所替代，所以紫外固化灯的应用范围也越来越广。

但是，紫外LED(Light-Emitting Diode，发光二极管)灯属于点光源，而紫外固化需要均匀的面光源照射，因此需要对紫外LED光源进行光学设计。根据光源位置的不同，面光源可分为直下式和侧入式，侧入式需要厚重的导光板反射和折射光线，该结构不仅增加灯具重量，也极大耗损光线能量，减小光效。而且，目前广泛使用的紫外固化灯具只能实现一种峰值波长，即只能完成一种特定的功能。一种紫外灯具只有一种紫外波长，为实现不同波长的紫外光照射，只能重新设计另外一种灯具结构，重新建模，费时费力，成本消耗大。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种灯具，能够实现灯具的轻薄化，而且可以减少设计时间以及降低成本消耗。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种灯具，包括容置体，容置体包括底板以及与底板连接且向底板一侧延伸的侧板，底板和侧板围设成一具有出光口的容置腔，底板的位于容置腔内部的区域上突出设置有至少一固定曲面；至少一光源组件，光源组件包括固定于固定曲面上的多个LED光源，其中侧板与底板的连接处设置有第一反射曲面，以将LED光源的出射光线反射至出光口。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明的灯具包括容置体，容置体包括底板以及与底板连接且向底板一侧延伸的侧板，底板和侧板围设成一具有出光口的容置腔，底板的位于容置腔内部的区域上突出设置有至少一固定曲面，至少一光源组件，光源组件包括固定于固定曲面上的多个LED光源，其中侧板与底板的连接处设置有第一反射曲面，以将LED光源的出射光线反射至出光口，进而可以实现灯具的轻薄化，减少设计人员的设计时间，以及可以降低成本的消耗。

附图说明

图1是本发明一种灯具第一实施方式的结构示意图；

图2是本发明一种灯具第二实施方式的结构示意图；

图3是本发明一种灯具第三实施方式的结构示意图；

图4是本发明一种灯具第四实施方式的结构示意图；

图5是本发明一种灯具第五实施方式的结构示意图；

图6是本发明一种灯具第六实施方式的结构示意图；

图7是本发明一种灯具第七实施方式的结构示意图；

图8是本发明一种灯具第八实施方式的结构示意图；

图9是本发明一种灯具第九实施方式的结构示意图。

具体实施方式