[发明专利]一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪在审
| 申请号： | 201710404698.7 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107289919A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 赵玉龙;徐瀚洋;姜开春 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/00 | 分类号： | G01C19/00;G01C9/10 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 环形 电阻 mems 液体 角度 陀螺仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪，其特征在于：包括通过UV胶黏剂封装的上基板(1)和下基板(3)，上基板(1)的下表面有环形的沟槽通道(2)，沟槽通道(2)的内壁设有疏水层(7)；下基板(3)的上表面包括两条平行的环形电阻(4)，环形电阻(4)末端连接有金属引线板(6)；环形沟槽(2)内设有水银液滴(5)；
封装过程中，控制环形电阻(4)处于上基板(1)沟槽通道(2)的内部且处于沟槽通道(2)的中间位置。
2.根据权利要求1所述的一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪，其特征在于：所述的上基板(1)采用单晶硅材料，采用MEMS工艺制作沟槽通道(2)和疏水层(7)。
3.根据权利要求1所述的一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪，其特征在于：所述的下基板(3)采用玻璃材料，采用MEMS工艺制作环形电阻(4)和金属引线板(6)，环形电阻(4)采用合金材料，金属引线板(6)设置在环形电阻(4)的末端，采用金材料。
4.根据权利要求1所述的一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪，其特征在于：所述的上基板(1)略小于下基板(3)，封装过程中控制下基板(3)上的金属引线板(6)不被上基板(1)覆盖。
5.根据权利要求1所述的一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪，其特征在于：所述的水银液滴(5)的直径与沟槽通道(2)的宽度相同。
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