[发明专利]BAW梯形滤波器的布局设计方法

说明书

本发明公开了BAW梯形滤波器的布局设计方法，包括：根据每个BAWR的有效面积，预设每个BAWR形状；根据BAW梯形滤波器电路结构，排列BAWR；压缩布局，减小BAW梯形滤波器的布局面积；对BAWR切趾、微调或旋转；对BAWR和G‑S‑G焊盘布线；检测布局是否满足设计准则；对BAW梯形滤波器进行声‑电磁联合仿真，检测布局设计结果；本布局设计流程步骤简化，可提高BAW梯形滤波器布局的设计效率，结合设计准则，最大限度地优化BAW梯形滤波器布局面积；其中，设计准则可保证BAW梯形滤波器性能，减少电磁耦合等干扰；对于不同的BAW梯形滤波器布局设计，只需修改设计准则的参数，增强通用性，减少重复劳动。

技术领域

本发明属于微电子机械系统器件领域，具体涉及体声波(BAW，Bulk AcousticWave)梯形滤波器的布局设计方法。

背景技术

随着无线通讯设备的快速普及以及用户需求的不断扩展，手持移动通信产品正在往小型化和轻便化发展，而随着产品尺寸的减小，产品价格不断降低，对其功能的要求却逐渐增强。在手持移动通信产品中，射频滤波器已成为电子系统小型化和集成化的瓶颈之一。

目前，BAW滤波器已经广泛地被市场所接受，BAW滤波器主要由多个BAW谐振器(BAWR，Bulk Acoustic Wave Resonators)串、并联构建而成。BAW滤波器相比于传统的声表面波(SAW，Surface Acoustic Wave)滤波器和介质陶瓷滤波器，具有工作频率高、体积小、品质因数高、生产成本低、便于集成等优势。为进一步减小滤波器尺寸，除了使用体积小的BAW滤波器，还可以使BAWR在布局上排列更加紧凑。但随着滤波器布局的减小，会产生例如电磁耦合等干扰，从而影响滤波器性能。如何在保证滤波器性能的前提下，最大限度地减小滤波器布局面积，提高布局的面积利用率。

现有公开的中国专利文献中，公开号为CN103455683A，公开日是2013年12月18日的中国发明专利文献，是由申请人：诺思(天津)微系统有限公司公开的“一种压电声波滤波器的设计和布局方法”，该技术方案提出了一种串联级中的谐振器的布局方式；其中，该滤波器包括：串联的多个串联级，每个串联级包括至少一个谐振器；位于每两个相邻的串联级之间的并联级，其中，每个并联级包括至少一个谐振器；其中，每个串联级中的谐振器与非相邻串联级中的谐振器之间存在分布电容，与该串联级相差级数较大的谐振器之间的分布电容小于与该串联级相差级数较小的谐振器之间的分布电容。该方案是通过压电声波滤波器中串联级的级数差来确定不同串联级中谐振器之间的分布电容的相对大小，以此设计压电声波滤波器中谐振器的版图布局，但该方案只设计了滤波器中串联谐振器的布局方式，没有设计并联谐振器和整个滤波器的布局方法。

发明内容

本发明为了解决上述技术缺陷，提供了一种BAW梯形滤波器的布局设计方法，该方法提出了设计准则和设计流程，能够在保证滤波器性能的前提下，有效地设计BAW梯形滤波器的布局，最大限度地减小布局面积，提高滤波器布局的面积利用率。

为实现上述目的，本发明采取以下技术方案：

BAW梯形滤波器的布局设计方法，其特征在于包括步骤：

第一步，根据每个BAWR的有效面积，预设每个BAWR形状；

第二步，根据BAW梯形滤波器电路结构，排列BAWR；

第三步，压缩布局，主要是通过减小BAW梯形滤波器的布局面积来实现压缩布局；

第四步，对BAWR进行调整；调整方式包括切趾、微调、旋转中的一种、或两种，或三种，也就是根据布局的设计准则，确定对BAWR进行切趾，还是微调，还是进行旋转，也可能同时需要进行切趾、微调，或其他调整组合方式；

第五步，对BAWR和G-S-G焊盘布线；

第六步，检测布局是否满足设计准则；