[发明专利]一种低温等离子体废气处理装置在线清焦的方法在审
| 申请号： | 201710409665.1 | 申请日： | 2017-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN108325359A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 郭亚逢;隋立华;赵乾斌;王世强;刘宝全;牟桂芹 | 申请（专利权）人： | 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;B01D53/72;B08B3/12 |
| 代理公司： | 青岛智地领创专利代理有限公司 37252 | 代理人： | 陈海滨 |
| 地址： | 266071 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低温等离子体发生器 低温等离子体 废气处理装置 高压电极 在线清焦 等离子体发生器 超声波清洗 超声波振子 串联式双 端面密封 二次密封 进 出口 密封形式 区域布设 发生器 反应区 放电盘 接线端 零电极 密封性 清洗液 电极 阀门 接线 结焦 清焦 废气 电源 污染 保证 | ||
1.一种低温等离子体废气处理装置在线清焦的方法，包括如下步骤：
(1)关闭低温等离子体放电盘电源，关闭废气进气阀门和出气阀门，保证低温等离子体反应区的密封性；
(2)在废气处理装置的低温等离子体发生区域布设超声波振子；
(3)向低温等离子体发生器内充清洗液，进行超声波清洗，
其特征在于，低温等离子体发生器的高压电极接线布设在等离子体发生器一端，低温等离子体发生器高压电极和零电极接线端与发生器之间的连接处为二次密封，密封形式为串联式双端面密封。
2.根据权利要求1所述的一种低温等离子体废气处理装置在线清焦的方法，其特征在于，所述超声波振子的安装位置距离低温等离子体发生器的距离为3-100cm。
3.根据权利要求1所述的一种低温等离子体废气处理装置在线清焦的方法，其特征在于，所述超声波振子的单位面积施加功率为0.1-10kw/m2。
4.根据权利要求1所述的一种低温等离子体废气处理装置在线清焦的方法，其特征在于，步骤(3)中，向低温等离子体发生器内充清洗液时，等离子体发生器高压端位于清洗液的液面以上，而零电极浸没在清洗液中。
5.根据权利要求1所述的一种低温等离子体废气处理装置在线清焦的方法，其特征在于，步骤(3)中所述清洗液为水或弱碱性清洗液中的任意一种。
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