[发明专利]一种可见光波段的渐变相位金属光栅

权利要求书

1.一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：包括金属光栅层，所述金属光栅层的上表面设有周期性排布的多组凹槽，每组凹槽包括N个不同的凹槽，N为大于等于3的自然数，每组凹槽中各凹槽的相位逐渐增大，相邻所述凹槽的中心距离均相等，每组凹槽中相邻两个所述凹槽之间的相位差均相等，该相位差为2π/N，后一组凹槽中的第一个凹槽与前一组凹槽中的第一个凹槽的相位差是2π。

2.根据权利要求1所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：每组凹槽包括N个宽度各不相同、深度均相同的凹槽。

3.根据权利要求2所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：每组凹槽中各凹槽的宽度逐渐减小。

4.根据权利要求1所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：每组凹槽包括N个宽度均相同、深度各不相同的凹槽。

5.根据权利要求4所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：每组凹槽中各凹槽的深度逐渐增大。

6.根据权利要求1所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：所述凹槽采用蚀刻工艺形成。

7.根据权利要求6所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：所述凹槽中的介质为空气、二氧化硅、环氧树脂中的任意一种。

8.根据权利要求1所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：所述金属光栅层的材料为银、铝、铜、镍中的任意一种。

9.根据权利要求1所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：N=5。