[发明专利]一种纳米位移执行器

权利要求书

1.一种纳米位移执行器，其特征在于在衬底(3)的上表面设有氧化石墨烯薄膜(2)，在氧化石墨烯薄膜(2)上表面设有上方承载面(1)，由氧化石墨烯薄膜(2)和上方承载面(1)构成一个位移传动的承载体，其中薄膜上方承载面(1)作为位移传动的承载面；在所述位移传动的承载体的两端分别设有左密封腔体的密闭墙(4)、右密封腔体的密闭墙(5)，在左密封腔体的密闭墙(4)的外端设有环境气氛输出控制管道口(6)，在右密封腔体的密闭墙(5)的外端设有环境气氛输入控制管道口(7)，在左密封腔体的密闭墙(4)的内端与位移传动的承载体之间设有左滑动接触装置(8)，在右密封腔体的密闭墙(5)的内端与位移传动的承载体之间设有右滑动接触装置(9)。

2.根据权利要求1所述的一种纳米位移执行器，其特征在于所述左密封腔体的密闭墙(4)、右密封腔体的密闭墙(5)与位移传动的承载体之间营造出环境气氛扩充前的密闭腔。

3.根据权利要求1或2所述的一种纳米位移执行器，其特征在于所述环境气氛输出控制管道口(6)、环境气氛输入控制管道口(7)的外端分别连接外部的环境气氛；环境气氛输出控制管道口(6)、环境气氛输入控制管道口(7)的内端分别连接位移传动的承载体旁的密闭腔。

4.根据权利要求1所述的一种纳米位移执行器，其特征在于所述左滑动接触装置(8)、右滑动接触装置(9)与所述位移传动的承载体用油封密封且保持密封不透气。

5.根据权利要求1所述的一种纳米位移执行器，其特征在于所述氧化石墨烯薄膜(2)材料的制备方法为：对石墨的预氧化之后，进行多次再氧化，再通过旋涂或喷涂法实现氧化石墨烯分离薄膜的制备；而氧化石墨烯分离膜的厚度由旋涂来控制。

6.根据权利要求1所述的一种纳米位移执行器，其特征在于所述位移传动的承载体的衬底(3)，在衬底(3)的下部设有一体式密封腔的底座(10)，并在衬底(3)的下部开了几个进气扩散孔，环境气氛输出控制管道口(6)、环境气氛输入控制管道口(7)分别与一体式密封腔的底座(10)联通。