[发明专利]一种高真空双插板阀

说明书

本发明公开了一种高真空双插板阀，包括：主阀体，用于实现高真空控制的阀体；所述的主阀体内部设置有活动密封连接的双阀板；执行机构，用于提供动力的机构；所述的执行机构设置在主阀体上；传动机构，用于传递执行机构动力的机构；所述的传动机构分别与执行机构和主阀体连接；先导阀，用于对主阀体内部高真空度进行破除的阀；所述的先导阀设置在主阀体内部与阀板固定连接，并且与传动机构传动连接。该高真空双插板阀，使得高真空插板阀在从关闭位置打开时，先导阀会先开启，平衡阀板两边的压力，使得阀板在开启时不受力，可避免因未平衡阀板两遍的压力就开启而导致的阀门损坏；且该插板阀结构稳定可靠，经济安全，安装占空小，实现了PLC控制。

技术领域

本发明涉及阀门技术领域，尤其涉及一种高真空双插板阀。

背景技术

高真空双插板阀具有通经大，介质无阻碍，结构简单稳定，真空密封性能可靠等特点，广泛应用于真空镀膜、真空热处理、真空焊接、等真空行业中。高真空双插板阀上安装有电磁阀连接阀腔，在打开时起到先平衡阀瓣两边压力的作用，可减小打开所需的输出力，降低成本。但是，当电磁阀失效时，如果阀门继续运动，则阀瓣两边压力达不到平衡，而电机还在继续转动，这可能造成阀瓣密封圈的损坏，同时，可能造成电机的损坏，最后造成比较大的经济损失。

由于自动化工业的推进，高真空双插板阀上安装有电机，再配上电磁感应装置，可实现电磁感应限位，进而控制电机运作，实现PLC控制。但是，电磁感应装置感应力对不同的金属，感应距离是有很大差异，存在失效的风险。同时，电机传动不稳定，传动效率低，如果需要实现远程控制，则需要花上较大的代价或大空间安装其他附件，不经济。

所以，有必要对此类情况进行技术改进，以满足使用要求。

中国专利文献（公告日：2013年8月21日，公告号：CN103256397A）公开了一种双向密封插板阀，包括插板阀壳体、阀门启闭机构、插板阀阀门和插板阀连接法兰，插板阀壳体两平行侧面底部开有与插板阀阀门相配的连接孔，阀门启闭机构包括两个升降气缸、两组插板阀升降座和两组插板阀联动拉臂，升降气缸伸出杆端部固定连接有插板阀联动拉臂，插板阀联动拉臂上铰接有插板阀升降座，插板阀升降座端部固连有插板阀阀门，两插板阀阀门分别正对插板阀壳体侧面底部相应的连接孔。管路抽真空低压作用，使得插板阀阀门越吸越紧；管路中为正压力，其中一侧的插板阀阀门被迫打开，使得正压力作用在另外一侧的插板阀阀门上，使得该插板阀阀门越吸越紧。

中国专利文献（公告日：2012年7月11日，公告号：CN102563112A）公开了一种真空室用的真空插板阀，包括气缸、阀体和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，气缸末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接；阀芯组件包括对称设置的两个活动板，两个活动板之间设置活动铰并通过活动铰与气缸末端连接，两个活动板的底部分别设有导轮。本真空插板阀克服传统真空插板阀占用空间大的缺陷，也可较好地应用于大型玻璃镀膜工艺用的真空镀膜室。同时，其密封效果好，阀芯结构也较为稳固，不易变形，加工及日常维护都较为方便。

中国专利文献（公告日：2015年7月29日，公告号：CN204512485U）公开了一种气动真空插板阀，包括真空插板阀，所述的真空插板阀包括阀体、在阀体内作往复运动的阀芯、位于阀芯内的密封板A、密封板B，其特征在于：所述的气动真空插板阀还包括气缸。

上述技术方案插板阀也存在结构稳定性差，阀门主体因附件失效易损坏等问题。

发明内容

本发明的目的是为解决现有的高真空双插板阀所存在的上述问题，而提供一种结构稳定可靠，经济安全，避免出现因附件失效而造成阀门主体损坏，能够可经济得实现控制的高真空双插板阀。

本发明实现其发明目的所采用的技术方案是：一种高真空双插板阀，包括：