[发明专利]用于GDMS检测的钛晶样品制备方法及钛晶样品

权利要求书

1.一种用于GDMS检测的钛晶样品制备方法，其特征在于，包括：

提供多片钛晶；

提供基底，将多片所述钛晶固定设置于所述基底。

2.如权利要求1所述的钛晶样品制备方法，其特征在于，将所述钛晶固定设置于所述基底的方法包括：

提供相对设置的底盘和压盘，所述基底设置于所述底盘，且位于所述底盘、压盘之间；

将多片所述钛晶放置于所述基底朝向压盘的表面上；

控制所述压盘、底盘相互靠近，对所述钛晶施加作用力，使所述钛晶嵌入至所述基底中。

3.如权利要求1所述的钛晶样品制备方法，其特征在于，所述基底为铟基底或镓基底。

4.如权利要求3所述的钛晶样品制备方法，其特征在于，所述铟基底的杂质含量在10^-7以下；或，所述镓基底的杂质含量在10^-7以下。

5.如权利要求1所述的钛晶样品制备方法，其特征在于，所述基底为圆盘状，所述基底的径向尺寸在15mm-30mm之间。

6.如权利要求2所述的钛晶样品制备方法，其特征在于，所述底盘朝向所述压盘的面上设有凹槽，所述基底设置在所述凹槽内。

7.如权利要求6所述的钛晶样品制备方法，其特征在于，所述压盘朝向所述底盘的面上设有凸起，所述凹槽、凸起相对设置，且所述凸起能够插入至所述凹槽中。

8.如权利要求2所述的钛晶样品制备方法，其特征在于，所述底盘采用聚四氟乙烯材料，和/或，所述压盘采用聚四氟乙烯材料。

9.如权利要求1所述的钛晶样品制备方法，其特征在于，所述钛晶还能够从所述基底上剥离，以实现钛晶与基底的分离。

10.如权利要求6所述的钛晶样品制备方法，其特征在于，所述基底为铟基底，所述铟基底由多个铟块制成。

11.如权利要求10所述的钛晶样品制备方法，其特征在于，所述铟基底的形成方法包括：

将多个所述铟块放置于所述凹槽内；

对所述底盘进行加热，使所述铟块融化；

对所述底盘进行降温，使融化后的多个所述铟块冷凝形成所述铟基底。

12.如权利要求11所述的钛晶样品制备方法，其特征在于，利用浓硝酸对冷凝形成的所述铟基底进行清洗。

13.如权利要求11所述的钛晶样品制备方法，其特征在于，对所述底盘进行加热时，所述加热温度控制在180℃-220℃之间。

14.如权利要求11所述的钛晶样品制备方法，其特征在于，对所述底盘进行降温的方法为：将所述底盘放置于空气中进行自然冷却。

15.一种用于GDMS检测的钛晶样品，其特征在于，包括：

多片钛晶；

基底，多片所述钛晶固定设置于所述基底。

16.如权利要求15所述的钛晶样品，其特征在于，所述钛晶固定嵌入于所述基底中。

17.如权利要求15所述的钛晶样品，其特征在于，所述基底为铟基底或镓基底。

18.如权利要求15所述的钛晶样品，其特征在于，所述铟基底的杂质含量在10^-7以下；或，所述镓基底的杂质含量在10^-7以下。

19.如权利要求15所述的钛晶样品，其特征在于，所述基底为圆盘状，所述基底的径向尺寸在15mm-30mm之间。

20.如权利要求15所述的钛晶样品，其特征在于，所述钛晶可剥离的设置于所述基底。