[发明专利]靶材的包装方法和包装工具

权利要求书

1.一种靶材包装工具，所述靶材为圆柱体，所述靶材包括溅射面和位于所述靶材溅射面内的沟槽，所述溅射面为圆形，所述沟槽为沿靶材一条直径方向延伸的长条型；所述沟槽中具有断开部，间隔排列的沟槽的断开部沿垂直于所述沟槽延伸方向排列，其特征在于，包括：

保护体，所述保护体为圆柱体，所述保护体包括接触面，所述保护体包括中心区域和包围所述中心区域的外围区域，所述保护体的中心区域接触面用于与所述靶材溅射面贴合，所述保护体接触面的直径与所述溅射面的直径相等；

位于所述中心区域保护体的接触面上的卡件，所述卡件用于放置于所述沟槽中，所述卡件为沿保护体一条直径延伸的长条型；所述卡件具有开口，间隔排列的卡件中的开口沿垂直于所述卡件延伸方向排列，所述开口用于容纳所述断开部；

所述靶材的厚度为23mm～28mm；所述沟槽的宽度为3mm～3.5mm；所述沟槽之间的间距为9mm～11mm；所述保护体的厚度为26mm～30mm；

所述沟槽的个数为多个；

所述靶材的材料为铜、铝、铁、镍或铬；

所述保护体的材料为有机玻璃。

2.如权利要求1所述的靶材包装工具，其特征在于，所述卡件的材料为有机玻璃。

3.如权利要求1所述的靶材包装工具，其特征在于，所述沟槽为长条形，所述卡件为长条型。

4.如权利要求1所述的靶材包装工具，其特征在于，所述卡件沿垂直于所述接触面上的尺寸等于或小于所述沟槽沿垂直于所述溅射面上的尺寸。

5.如权利要求1所述的靶材包装工具，其特征在于，所述卡件的个数为1个或多个。

6.如权利要求5所述的靶材包装工具，其特征在于，所述卡件与沟槽的个数相同；

相邻沟槽中心之间的距离等于相邻卡件中心之间的距离。

7.如权利要求1所述的靶材包装工具，其特征在于，所述靶材溅射面内还具有插孔，所述靶材包装工具还包括：位于所述保护体接触面上的插件，所述插件用于置于所述插孔中。

8.如权利要求7所述的靶材包装工具，其特征在于，所述插孔的个数为4个，4个所述插孔排列为正方形；所述插件的个数为4个，4个所述插件排列为正方形；所述插孔排列形成的正方形与所述插件形成的正方形的边长相等。

9.如权利要求7所述的靶材包装工具，其特征在于，所述插孔为圆孔，所述插件为圆柱体；所述插件的高度等于或小于所述插孔的深度。

10.如权利要求7所述的靶材包装工具，其特征在于，所述插件的材料与所述保护体的材料相同。

11.如权利要求1所述的靶材包装工具，其特征在于，所述靶材还包括包围所述中心区域的外围区域，所述靶材包装工具还包括：位于所述外围区域保护体接触面上的卡环，所述卡环围成空隙，所述空隙用于容纳所述靶材。

12.如权利要求11所述的靶材包装工具，其特征在于，所述靶材溅射面为圆形，所述卡环为圆环；或者，所述靶材溅射面为多边形，所述卡环为多边形环。

13.如权利要求11所述的靶材包装工具，其特征在于，所述卡环的材料与所述保护体的材料相同。

14.如权利要求11所述的靶材包装工具，其特征在于，所述卡环为圆环，所述卡环沿直径方向上的尺寸为4.5mm～5.5mm。

15.如权利要求11所述的靶材包装工具，其特征在于，所述卡环沿垂直于所述接触面方向上的尺寸等于所述卡件沿垂直于所述接触面上的尺寸。