[发明专利]电感式压力传感器及压力测量电路在审
| 申请号： | 201710427888.0 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN108362406A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 霍红颖;湛邵斌;胡涛;陆芸婷;万学元 | 申请（专利权）人： | 深圳信息职业技术学院;湛邵斌 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/10 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 官建红 |
| 地址： | 518029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电感线圈 可动 薄膜 衬底 支撑部件 第一空腔 电感式压力传感器 压力测量电路 传感器技术领域 电感式传感器 电感值变化 绝缘介质层 薄膜连接 第二空腔 内壁连接 灵敏度 | ||
1.一种电感式压力传感器，其特征在于，包括：具有第一空腔的衬底、可动薄膜和电感线圈；
所述电感线圈设置在所述衬底的第一空腔上部，所述电感线圈的两端分别设置在所述衬底上，所述电感线圈与所述衬底的接触部分设置有绝缘介质层；
所述可动薄膜设置在所述电感线圈的下部，所述可动薄膜与所述电感线圈之间形成第二空腔，所述可动薄膜与所述衬底的第一空腔的内壁连接，所述可动薄膜与所述电感线圈通过支撑部件连接。
2.根据权利要求1所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述电感线圈为平面电感线圈，并且在其下方有第二空腔。
3.根据权利要求2所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述平面电感线圈为多个U型形状的线圈首尾相接形成的电感线圈。
4.根据权利要求1所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述支撑部件的个数为一个，所述支撑部件设置在所述电感线圈的中心处。
5.根据权利要求1所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述支撑部件的个数为多个，各个支撑部件等间距的设置在所述电感线圈上。
6.根据权利要求1所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述衬底的顶部面积大于所述衬底的底部面积，所述衬底的顶部为与所述电感线圈的接触面。
7.根据权利要求1-6任一项所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述绝缘介质层的厚度为1微米至3微米。
8.根据权利要求1-6任一项所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述衬底和所述可动薄膜的材料均为半导体材料。
9.根据权利要求1-6任一项所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述可动薄膜的厚度为10微米至20微米。
10.一种压力测量电路，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的电感式压力传感器，以及电源模块和短路保护模块；
所述短路保护模块的一端与所述电感式压力传感器的一端电连接，所述电源模块分别与所述短路保护模块的另一端和所述电感式压力传感器的另一端电连接。
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