[发明专利]能够供电至阳极的供电体及镀覆装置

权利要求书

1.一种供电体，能够供电至在对基板进行镀覆时使用的溶解阳极，其特征在于，具有：

主体部，其能够配置在所述溶解阳极的外周；

加力构件，其配置在所述主体部，能够在从所述主体部朝向所述主体部所包围的区域的方向上对所述主体部施加第1力；和

能够配置在所述溶解阳极的外周的导电体，

所述主体部能够配置在所述导电体的外周。

2.根据权利要求1所述的供电体，其特征在于，

所述加力构件具有端部构件，该端部构件配置在所述区域的外周方向上的所述主体部的两个端部中的至少一个端部上，所述端部构件能够以使所述两个端部相互接近的方式对所述两个端部施加第2力，通过对所述两个端部施加所述第2力，能够对所述主体部施加所述第1力。

3.根据权利要求1或2所述的供电体，其特征在于，

在所述溶解阳极的厚度方向上的所述主体部的宽度小于所述溶解阳极的厚度。

4.一种镀覆装置，其特征在于，具有：

能够收容镀覆液的镀覆槽；

能够配置所述溶解阳极的、权利要求1或2所述的供电体；

能够保持所述基板的基板保持具；和

能够在所述供电体及所述基板之间通电的镀覆电源，

所述镀覆装置能够使所述基板保持具浸渍在所述镀覆液中来对所述基板进行镀覆。