[发明专利]分支目标一致的多灵敏度任意反射表面速度干涉仪

权利要求书

1.一种分支目标一致的多灵敏度任意反射表面速度干涉仪，其特征在于：包括照明光源、照明分束镜、成像镜头、中间像面和信号分束镜，照明光源发出的激光经照明分束镜反射后再经过成像镜头聚焦于靶面，由靶面反射的多普勒信号光经成像镜头会聚于中间像面，然后经信号分束镜分束后进入多个测量分支，所述测量分支包括沿光路传播方向设置的准直镜、干涉仪、会聚镜和条纹相机；所述条纹相机是不带狭缝的条纹相机，所述中间像面上设置有共用狭缝，共用狭缝的像将通过VISAR原有光路分别成像在各个条纹相机原狭缝位置，由条纹相机进行记录，从而实现多台条纹相机具有绝对一致的待测目标。

2.根据权利要求1所述的分支目标一致的多灵敏度任意反射表面速度干涉仪，其特征在于：所述照明光源与照明分束镜之间还设置有整形照明镜头。

3.根据权利要求2所述的分支目标一致的多灵敏度任意反射表面速度干涉仪，其特征在于：所述照明光源发出的激光经照明光纤传输至整形照明镜头。

4.根据权利要求1-3中任一所述的分支目标一致的多灵敏度任意反射表面速度干涉仪，其特征在于：所述测量分支的干涉仪中设置有平行平晶标准具。

5.根据权利要求4所述的分支目标一致的多灵敏度任意反射表面速度干涉仪，其特征在于：不同测量分支内的平行平晶标准具的厚度不同。

6.根据权利要求5所述的分支目标一致的多灵敏度任意反射表面速度干涉仪，其特征在于：所述中间像面上设置的共用狭缝是长25mm、宽50μm的狭缝。