[发明专利]液体喷射头以及液体喷射装置

说明书

技术领域

本发明为涉及一种被搭载于例如喷墨记录装置等中的液体喷射头以及液体喷射装置，尤其是具有开口有喷嘴部的喷嘴形成面的液体喷射头以及液体喷射装置的发明。

背景技术

作为通过使压力室内的液体产生压力变动从而以液滴的形式从喷嘴中进行喷射(喷出)的液体喷射头，例如，存在在喷墨式记录装置(以下，简称为打印机)等图像记录装置中所使用的喷墨式记录头(以下，简称为记录头)、在液晶显示器等滤色器的制造中所使用的彩色材料喷射头、在有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示器、FED(面发光显示器)等的电极形成中所使用的电极材料喷射头、在生物芯片(生物化学元件)的制造中所使用的生体有机物喷射头等。而且，在图像记录装置用的记录头中是对液状的油墨进行喷射，在显示器制造装置用的颜料喷射头中是对R(Red：红色)G(Green：绿色)、B(Blue：蓝色)的各种颜料的溶液进行喷射。此外，在电极形成装置用的电极材喷射头中是对液状的电极材料进行喷射，在芯片制造装置用的生体有机物喷射头中是对生体有机物的溶液进行喷射。

另外，在搭载了液体喷射头的液体喷射装置中，有时会实施从该液体喷射头的喷嘴部将已粘稠的液体或气泡强制性地排出的清洁处理(例如、参照专利文献1)。更具体而言，通过在使盖与液体喷射头的开口有喷嘴部的喷嘴形成面抵接的状态下，利用抽吸单元而使该盖内部负压化，从而使液体喷射头的内部的粘稠液体或气泡等从喷嘴部中被排出。在这种清洁处理中，由于一次性向盖内排出较多的液体，因此会因飞溅或回弹而使液体容易附着到喷嘴形成面上。因此，在清洁处理之后，还会通过擦拭部件(擦拭部件)而实施对喷嘴形成面进行擦拭的擦拭处理。而且，在上述液体喷射头中，在喷嘴形成面上形成有防液膜以提高擦拭处理中的附着在喷嘴形成面上的液体的擦除性等，由此而使喷嘴形成面的防液性得到提高。

图9～图12为对现有结构中的清洁处理进行说明的图。如图9所示，在清洁处理中，从喷嘴部55被排出的液体附着在喷嘴形成面54上并扩展。在喷嘴形成面54上形成有上述的防液膜56，该防液膜56中所包含的氟在带电序列中处于负极性侧的位次。因此，含氟的防液膜56容易因与液体的接触或摩擦而带负电。当清洁处理结束而停止由抽吸单元进行的抽吸时，使在液体喷射头的内部流道负压状态维持为某种程度，因此如图10所示，附着在喷嘴形成面54上的液体从喷嘴部55会被吸向流道内部(图10中的箭头标记所示出的方向)。此时，由于附着在喷嘴形成面54上的液体与防液膜56接触并被吸入到流道内，因此如图11所示，防液膜56中与液体接触的部位会因与液体的摩擦带电而带负电(-)。当在这种状态下液体作为液滴Id而从喷嘴部55中被喷射出时，如图12所示，该液滴Id因带电的部位所产生的静电感应而以该部位的带电极性(负极)的相反极性的正极性(+)而带电。因此，在液体的喷落对象带正电的情况下，存在如下问题，即，随着该液体的喷射而产生的微小的雾容易附着在液体喷射头的喷嘴形成面54上的问题。尤其是在作为液体的喷落对象的记录介质等以与被喷射的液体为相同电位的方式而带电的情况下，该记录介质与液体相互排斥，由此而变得更容易产生液体向喷嘴形成面54的附着。由于被喷射的液体的导电率越低于水的电导率(自来水：1.0×10^-2(S/m))，则越不容易放电，因此这种课题变得更为显著。

专利文献1：日本特开2012-116001号公报

专利文献2：日本特开2014-124874号公报

发明内容

本发明为鉴于这种情况而完成的发明，其目的在于，提供一种能够对从喷嘴部喷射出的液体的带电进行抑制的液体喷射头以及液体喷射装置。

本发明是为了达到上述目的而提出的发明，本发明为一种液体喷射头，其特征在于，具有开口有喷射液体的喷嘴部的喷嘴形成面，在所述喷嘴形成面上，隔着基底膜而形成有含氟的防液膜，且所述基底膜的总厚度在670(nm)以下。

根据本发明，能够在确保必要的防液性的同时对因与液体的接触而导致的喷嘴形成面(防液膜)的带电进行抑制。因此，使从喷嘴部被喷射出的液体带电的情况得到抑制。由此，使因该液体带电所导致的不良情况，例如随着液体的喷射而产生的雾附着到喷嘴形成面或液体喷射装置内的结构部件上的情况得到抑制。

在上述结构中，优选为采用如下结构，即，通过飞行时间二次离子质谱分析法而产生的所述防液膜的分子量301的信号强度在0.00005以上且0.00020以下。