[发明专利]一种新型的夹紧工装

说明书

技术领域

本发明涉及一种线切割技术领域，具体涉及一种新型的夹紧工装。

背景技术

线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢线上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦，从而达到切割目的。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内切圆切割相比有具有效率高、产能高、精度高等优点。

硅料包括原生多晶硅料和单晶硅回用料，原生多晶硅一般称为正料，其纯度较高， 价格亦不菲，单晶硅回用料如单晶硅棒头尾料、边皮料、埚底料、电池片经过清洗处理后得到的原料等等。

硅锭是硅料定向凝固做成的产品。一般来说，硅料包括原生多晶硅料和单晶硅回用料，原生多晶硅一般称为正料，其纯度较高，价格亦不菲;单晶硅回用料如单晶硅棒头尾料、边皮料、埚底料、电池片经过清洗处理后得到的原料等等。将硅料在单晶炉(在太阳能级单晶硅的生产工艺中以直拉炉较常见)中融化后再经过一系列工序可生长成单晶硅棒子，对单晶硅棒子进行后续机加工，得到单晶硅锭，再使用切片机器对硅锭进行切片加工，则得到硅片。将硅锭加工成硅片的过程就是使用线切割技术进行切割的过程，采用的设备为金刚线截断设备。

在切割过程中，要从整体的硅锭上切割下片状的硅片，因为硅片的部分较小，在金刚线切割到底部的时候，易出现硅片被带动移位甚至倾倒的现象，一是容易是切割面不光滑，出现不良品，造成原料损失，二是容易发生断线现象，造成钢线损失。

发明内容

本发明的目的是提供一种新型的夹紧工装，在进行线切割的时候，同时对硅锭本体和待切下的硅片进行同步夹紧固定，避免切下的硅片部分被带动移位，造成断线或产品不良的问题。

本发明通过以下技术方案实现的：

一种新型的夹紧工装，安装在金刚线截断设备的底座上，其特征在于，包括气缸、气缸固定板、连接组件、支撑块和橡胶垫，所述气缸固定板为两块，所述气缸固定板对称固定在所述底座的两侧，所述气缸固定板为截面呈L的结构，所述气缸包括气缸本体和活塞杆，所述气缸本体固定安装在所述气缸固定板上，所述气缸在所述气缸固定板上呈相对设置，所述活塞杆的一端与所述气缸本体连接，所述活塞杆的另一端与所述连接组件固定连接，所述连接组件包括连接块和连接杆，所述连接组件通过所述连接块与所述活塞杆实现固定连接，所述连接杆为四个，所述连接杆两个为一组分别水平放置并平行、对称固定在所述每个连接块的两端，所述连接杆在远所述连接块的一端还设有螺纹段，所述橡胶垫位于所述连接杆的一端，所述橡胶垫为端面为正方形的长方体结构，所述橡胶垫的一面设有螺纹孔，所述螺纹孔为盲孔，所述螺纹孔与所述螺纹段为对应关系，所述橡胶垫通过所述螺纹孔和所述螺纹孔配合固定在所述连接杆上；所述支撑块放置于所述连接组件的下端，所述支撑块固定安装在所述底座上；

上述一种新型的夹紧工装，其中，所述两个气缸连接到同一个控制开关同步控制；

上述一种新型的夹紧工装，其中，所述连接杆与所述活塞杆的中心在同一平面上。

本发明具有以下有益效果：

本发明的一种新型的夹紧工装，安装在金刚线截断设备的底座上，包括气缸、气缸固定板、连接组件、支撑块和橡胶垫，其中两个气缸对称设置在待切割硅锭的两侧，并与同一控制开关控制实现两个气缸的同步控制，使在作业过程中硅锭不会发生偏移，另外每个连接组件包括一个连接块和两个连接杆，连接块起到将气缸和连接杆连接的作用，连接杆为平行的两根，则可以在切割过程中同步分别夹紧硅锭主体和待切割下的硅片部分，同步夹紧，使在切割过程中，尤其是切割到硅锭底部的时候，避免硅片被带动移位甚至倾倒的现象，造成切割面不光滑，出现不良品，原料损失和发生断线现象，钢线损失的问题；同时在连接杆的顶部还固定橡胶垫，使硬性材质的连接杆不会直接作用在硅锭上，避免夹紧时表面出现夹紧痕迹，影响硅片质量。该发明结构简单，设计合理，具有广泛的实用性，适合推广开来。

附图说明

图1本发明主视图。

图2本发明俯视图。

图3本发明连接组件主视图。

图4本发明连接组件A-A向示意图。

图5本发明橡胶垫B-B向示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的详细说明：