[发明专利]一种蓝宝石衬底片切片后的分类方法

权利要求书

1.一种蓝宝石衬底片切片后的分类方法，其特征在于，包括以下技术步骤：

（1） 将切片后已经清洗干净的4英寸蓝宝石衬底放入干净的晶舟盒内，再将晶舟盒放入分选机待分选卡位上，所述晶舟盒为6盒，所述每盒晶舟盒内的蓝宝石衬底片为25片；

（2） 设置分选机的分选Warp值为以下三个范围：Warp<16μm，16μm≤Warp<25μm，25μm≤Warp<35μm；

（3）设置分选机测量轨迹为“米”字形；

（4）启动分选机，开始自动分选直至自动分选完成；

（5）将分选后的4英寸蓝宝石衬底片的Warp值在Warp<16μm范围内的衬底直接进行直排式碳化硼双面研磨；

（6）将分选后的4英寸蓝宝石衬底片的Warp值在16μm≤Warp值<25μm范围内的衬底进行1400℃高温退火12H后，再进行直排式碳化硼双面研磨；

（7）将分选后的4英寸蓝宝石衬底片的Warp值在25μm≤Warp<35μm范围内的衬底进行1400℃高温退火12h后，再进行循环式碳化硼双面研磨。

2.如权利要求1所述的一种蓝宝石衬底片切片后的分类方法，其特征在于，所述分选机采用距离传感器进行扫描测量。