[发明专利]用于测量表面瞬态温度的片状薄膜热电偶测温系统及应用

权利要求书

1.用于测量表面瞬态温度的片状薄膜热电偶，包括热电偶整体结构及绝缘保护层结构，其中，热电偶整体结构包括陶瓷基体，在陶瓷基体上并列镀覆铂铑₃₀薄膜热电极和铂铑₆薄膜热电极，两个热电极一侧通过热结点电连接，并列的铂铑₃₀薄膜热电极和铂铑₆薄膜热电极另一侧分别对应通过铂铑₃₀焊盘、铂铑₆焊盘焊接铂铑₃₀引出导线和铂铑₆引出导线，其中，通过等离子体溅射方式将铂铑₃₀薄膜热电极、铂铑₆薄膜热电极镀在陶瓷基体上，绝缘保护层采用导热系数相对较高的A1₂0₃材料，在陶瓷基体上完成薄膜热电极镀膜后，将A1₂0₃采用镀膜的形式镀在有薄膜热电极的陶瓷基体表面。

2.如权利要求1所述的片状薄膜热电偶，其中，陶瓷基体选用氧化硅、氧化铝、氧化镁或氧化锆。

3.如权利要求1所述的片状薄膜热电偶，其中，陶瓷基体为片状纵长基体，由沿片状陶瓷基体的中心线呈镜像对称设置所述铂铑₃₀薄膜热电极和铂铑₆薄膜热电极。

4.如权利要求1所述的片状薄膜热电偶，其中，陶瓷基体采用Al₂O₃高温陶瓷，将其表面研磨抛光，其厚度约为1±0.1mm。

5.如权利要求1所述的片状薄膜热电偶，其中，所述焊接为激光焊接，实现了热电偶的信号引出，在热电极及焊盘上镀绝缘保护膜。

6.如权利要求1-5任一项所述的片状薄膜热电偶，其中，采用镀膜搭接的方式实现热接点，热结点为测量端。

7.具有权利要求1-6任一项所述片状薄膜热电偶的测温系统，包括片状薄膜热电偶、信号采集模块、温度反演软件、上位计算机，其中，片状薄膜热电偶由片状陶瓷基体、薄膜热接点、铂铑₃₀薄膜热电极、铂铑₆薄膜热电极、Al₂O₃绝缘保护膜组成；片状薄膜热电偶的铂铑₃₀引出导线和铂铑₆引出导线分别将铂铑₃₀薄膜热电极和铂铑₆薄膜热电极的信号引至信号采集模块，信号采集模块将铂铑₃₀薄膜热电极和铂铑₆薄膜热电极的模拟信号转换为数字信号后传送给上位计算机，上位计算机通过温度反演将数字信号转换为温度值输出。