[发明专利]碳晶板用烘箱

权利要求书

1.一种碳晶板用烘箱，所述碳晶板用烘箱包括：

箱体，所述箱体包括钢结构框架层及陶瓷隔热层，所述陶瓷隔热层设置在所述钢结构框架层内部，所述钢结构框架层由白钢材料制成，所述箱体两侧设置有铰接轴；

隔热门，所述隔热门包括两个隔热板，所述两个隔热板分别通过铰接轴固定于所述箱体两侧，所述隔热门通过所述两个隔热板将所述箱体分为加热腔室及冷却腔室。

2.根据权利要求1所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，还包括加热装置及送风装置，所述加热装置及所述送风装置设置于所述加热腔室内，所述送风装置能够将所述加热装置产生的热量输送至所述加热腔室。

3.根据权利要求1所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，还包括碳晶板承载框架、电推杆及滑道，所述滑道设置于所述烘箱底部上表面，所述电推杆一端连接于所述加热腔室的侧壁，另一端连接于所述承载框架，所述承载框架滑设于所述滑道，所述电推杆能够通过所述滑道将所述承载框架推送至冷却腔室或拉回所述加热腔室。

4.根据权利要求3所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，还包括承载抽屉，所述承载抽屉包括承载抽屉壳体及多个抽拉板，所述多个抽拉板滑设于所述承载抽屉壳体，所述多个抽拉板能够抽出或伸入所述承载抽屉壳体，所述多个抽拉板用于摆放需要烘干的碳晶板，所述承载抽屉用于摆放在所述承载框架上。

5.根据权利要求1所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，还包括烘箱门，所述烘箱门为两个分别设置于所述烘箱两侧。

6.根据权利要求2所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，还包括温控传感器，所述温度传感器设置在所述加热腔室内，通信连接于所述加热装置。

7.根据权利要求1所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，还包括驱动电机及控制开关，所述驱动电机设置于所述箱体上驱动所述铰接轴转动，所述控制开关通信连接于所述驱动电机，控制所述隔热门开启与闭合。

8.根据权利要求7所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，还包括时间继电器，所述时间继电器设置于所述箱体表面通信连接于所述驱动电机，使用时能够对所述时间继电器设定时间阈值，当时间到达所述时间阈值时，所述驱动电机控制所述隔热门开启或闭合。

9.根据权利要求3所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，还包括电推杆控制开关，所述电推杆控制开关设置于所述箱体表面，所述电推杆能够控制所述电推杆拉伸或缩回。