[发明专利]碳晶板用烘箱

权利要求书

1.一种碳晶板用烘箱，所述碳晶板用烘箱包括：

箱体，所述箱体包括钢结构框架层及陶瓷隔热层，所述陶瓷隔热层设置在所述钢结构框架层内部，所述钢结构框架层由白钢材料制成，所述箱体顶部及底部中心点处设置有凹槽；

旋转托架，所述旋转托架包括旋转轴、托架、隔热托架及隔热板，所述旋转托架通过所述旋转轴及所述凹槽设置于所述箱体内，所述托架及所述隔热托架设置在所述旋转轴上，所述隔热板设置在所述托架及所述隔热托架上，所述旋转托架能够以所述旋转轴为轴心转动；

其中，所述托架的长度小于所述箱体的宽度，所述托架包括多个托架横梁及托架边框，所述多个托架横梁设置在所述旋转轴上，所述托架边框连接于所述多个托架横梁；

其中，所述隔热托架的长度与所述箱体的宽度一致，所述隔热托架包括多个隔热托架横梁及隔热托架边框，所述多个隔热托架设置在所述旋转轴上，所述隔热托架边框通过所述多个隔热托架设置在所述旋转轴上；

托盘，所述托盘为多个，分别通过所述多个托架横梁及所述多个隔热托架横梁设置于所述旋转托架上；

承载抽屉，所述承载抽屉包括承载抽屉壳体及多个抽拉板，所述多个抽拉板滑设于所述承载抽屉壳体，所述多个抽拉板能够抽出或伸入所述承载抽屉壳体，所述承载抽屉用于放置在所述托盘上；

供热单元，所述供热单元设置于所述箱体的一侧。

2.根据权利要求1所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，所述抽拉板的面积与单张所述碳晶板的面积相配合。

3.根据权利要求1所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，还包括烘箱门，所述烘箱门设置在所述箱体的两侧，能够密封所述箱体。

4.根据权利要求3所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，所述烘箱门上设置有门把手及观察窗。

5.根据权利要求4所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，还包括通风装置，所述通风装置设置在所述箱体上，与所述供热单元一侧，能够将所述箱体内产生的蒸汽输送至箱体外部。

6.根据权利要求5所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，还包括温控传感器，所述温控传感器设置于所述箱体中部，与所述供热单元一侧，通讯连接于所述供热单元。

7.根据权利要求1所述的碳晶板用烘箱，其特征在于，所述承载抽屉壳体及所述多个抽拉板上设置有通气孔。