[发明专利]一种精密薄壁零件的抛光设备及其抛光方法

说明书

本发明公开了一种精密薄壁零件的抛光设备及其抛光方法，通过依序设置机械抛光机构、电解抛光机构和数控抛光机构进行对零件抛光，通过逐步细化的抛光工序来保证抛光后的零件表面具有优良的平整度，机械抛光机构的滑块下方设置的抛光砂布为可拆式结构，可便于更换和进行调整，而电解抛光装置在耐酸金属喷管与待抛光的零件之间保持一定的电压，可以实现用极小的电流均匀去除薄壁精密零件上的细微毛刺和表面的氧化皮，另外数控抛光机构利用数控程序控制研磨头按照对应的轨迹在零件表面上移动，在旋转主轴与主轴夹具之间安装压力传感器，从而实时控制研磨头与零件之间保持一个合适的压力值，使抛光可以顺利进行，又不会让零件变形。

技术领域

本发明涉及抛光设备及抛光技术领域，尤其是一种精密薄壁零件的抛光设备及其抛光方法。

背景技术

在真空镀膜设备中，离子源栅网是一种产生高能量离子束的重要部件，这类部件工作于高电压、高温状态。其表面不允许有任何微观毛刺，也不允许有细微的变形，否则会由于尖端放电而引起重大事故。

对于离子源栅网这种精密零件，其在加工的最后阶段，通过良好的表面处理可以减少产品的磨损，提高客户的满意度，也是不可缺少的一个重要步骤，特别是还有一些应用于高温高电压环境中的金属零件，能够具有光亮的表面质量可以大大减少因尖端放电而引起的打火故障。

抛光是目前增加零件表面光洁度，减少粗糙度的主要方法，目前金属零件常用的抛光方法大致有：（1）比较重要的零件使用研磨材料和电动工具手工抛光；（2）毛刺较少时使用电流在电解液中对材料表面的微观突起进行腐蚀；（3）要求不严格不容易变形的零件使用震动抛光。

目前栅网零件在手工抛光的过程中，如果由于工人经验的不足，容易造成一些不良后果，如：（1）研磨工具施加给零件的压力超出变形的临界点，会使零件产生变形；（2）研磨头在各个位置的压力和研磨速度不一致，导致零件表面出现花斑；（3）研磨头在零件局部位置停留过久，容易使零件表面过热烧伤，或者过切影响尺寸；（4）研磨头在零件边界位置容易跳动导致手持不稳，给产品以剧烈冲击，造成废品和工具损坏；（5）手工抛光固定批量产品时，有很大可能性使产品的特性不一致；（6）电解抛光时都是把零件全部浸入电解液中，所需的电流太大，达到每平方厘米几十安培的强度，对电源和夹具要求比较高，相应的对设备投资要求也比较大；（7）在夹具和零件接触的位置，容易因夹具遮挡影响效果，也容易因接触点位置电流太大产生烧蚀；（8）精密薄壁零件可能因大电流过热而变形；（9）因导电性原因，产品的凹坑内或孔内的电解抛光效果不良；（10）产品表面因与导电板距离有远近之分，导致表面每个位置的电流不一致，易使产品表面出现瑕疵。

因此，对于栅网零件或其他精密的薄壁零件而言，要想在加工过程中取得良好的表面抛光效果，则不能仅仅是通过传统单一的工序进行抛光加工，而需要针对零件的表面特性和结构特性进行针对性采取抛光方案。

发明内容

为了解决现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种实施可靠且抛光效果优良的精密薄壁零件的抛光设备及其抛光方法。

为了实现上述的技术目的，本发明的技术方案为：

一种精密薄壁零件的抛光设备，其包括依序设置的机械抛光机构、电解抛光机构、数控抛光机构和设于机械抛光机构、电解抛光机构和数控抛光机构之间且用于传递待抛光零件的传送机构；