[发明专利]一种碳镍纳米棒薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201710444800.6 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN107267927A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 李惠;徐卓器;巫志城;许宁 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/18;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司31200 | 代理人： | 陆飞,陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳镍纳米棒薄膜的制备方法，所述碳镍纳米棒指的是过渡金属Ni的碳化物NiCx的棒状一维纳米结构，其特征在于制备的具体步骤为：
（1）首先，在真空度为2´10-3 Pa的真空腔中，在清洗过的光滑石英衬底表面沉积一层10-30纳米厚度的金属Ni作为催化层和前驱物；沉积过程采用脉冲激光沉积方法；
（2）其次，利用同样的方法在沉积有Ni的石英衬底上继续沉积石墨粉末，沉积时间4-6分钟；
（3）再次，将沉积有Ni和石墨粉末的石英衬底移入管式退火炉中进行高温退火，退火时间为5-60分钟，退火温度为1100-1250摄氏度；
（4）最后，将管式退火炉自然冷却，待温度降为室温时取出样品，得到NiCx纳米棒薄膜。
2.根据权利要求1所述的碳镍纳米棒薄膜的制备方法，其特征在于，所述热退火过程的退火气氛为氮气；退火时间为40-60分钟，退火温度为1150-1200摄氏度，退火气压为1个标准大气压，退火气体流量为0.8-1.2升/分钟。
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