[发明专利]一种基于ATE射频CP测试的校准方法在审
| 申请号： | 201710444970.4 | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN107247225A | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 邓维维;张志勇;王华;钭晓鸥;罗斌 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R35/00 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所31301 | 代理人： | 范海燕 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国（*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 ate 射频 cp 测试 校准 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于ATE射频CP测试的校准方法，其特征在于：在射频芯片流片时，在圆片上制作辅助去嵌结构作为标准件。
2.如权利要求1所述的基于ATE射频CP测试的校准技术，其特征在于：辅助去嵌结构包含三种结构：开路、短路、传输线。
3.如权利要求2所述的基于ATE射频CP测试的校准技术，其特征在于：去嵌结构要求对应于被测器件的射频管脚的位置。
4.如权利要求3所述的基于ATE射频CP测试的校准技术，其特征在于：利用ATE测试资源通道对标准件在被测器件工作的频带内进行S参数的测试。
5.如权利要求4所述的基于ATE射频CP测试的校准技术，其特征在于：记录通过对标准件测试得到的测试系统误差的具体数值。
6.如权利要求5所述的基于ATE射频CP测试的校准技术，其特征在于：记录后，将数据文件存储于测试系统内部。
7.如权利要求6所述的基于ATE射频CP测试的校准技术，其特征在于：调用之前存储的标准件测试数据，通过算法对被测器件的ATE测试系统的结果进行修正处理，消除其中误差成分，得到被测器件真实值。
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