[发明专利]一种适用于超导质子加速器的真空密封膜测试装置

权利要求书

1.一种适用于超导质子加速器的真空密封膜测试装置，其特征在于，包括真空窗(3)、真空腔(4)、真空计(8)、泄压角阀(6)、插板阀(9)、分子泵(10)；所述真空窗(3)位于真空腔(4)一端部；所述插板阀(9)位于真空腔(4)另一端部；所述真空腔(4)中间的管道上设有真空计(8)、泄压角阀(6)以及机械泵接口；所述分子泵(10)安装在插板阀(9)上；所述机械泵接口与机械泵连接；

所述泄压角阀(6)位于真空腔(4)中部小法兰水平位置；所述真空计(8)位于真空腔(4)中部小法兰竖直位置；泄压角阀(6)与真空计(8)均通过卡箍一(7)和内密封圈二(12)固定在真空腔(4)上；

所述插板阀(9)位于真空腔(4)的CF法兰端，通过CF铜垫密封圈(11)和螺钉固定在真空腔(4)上；所述分子泵(10)紧贴着插板阀(9)，且位于插板阀(9)的上方，通过CF铜垫密封圈(11)和螺钉固定在插板阀(9)上；

所述真空腔(4)中部小法兰水平位置处设有盲板法兰(14)，盲板法兰(14)通过卡箍一(7)和内密封圈二(12)固定在真空腔(4)上；所述盲板法兰(14)处为机械泵接口，使用真空波纹管将此接口与机械泵连接，并通过内密封圈三(13)和卡箍二(15)固定；

该真空密封膜测试装置的测试步骤如下：

(1)机械泵和分子泵处于初始停机状态，点击机械泵启动按钮，待机械泵进入工作状态，真空腔真空环境达到设定值；

(2)点击分子泵启动按钮，待分子泵进入工作状态时，点击机械泵停止按钮；

(3)分子泵稳定工作，真空计监测真空窗内窗膜的变化情况；如若真空窗窗膜破损，则真空腔内真空跌落，真空计检测并反馈到插板阀，使插板阀关闭分子泵与真空腔之间连接，同时分子泵停止工作；如若真空窗正常，则分子泵持续工作，查看真空窗窗膜的稳定工作极限时间。

2.根据权利要求1所述的真空密封膜测试装置，其特征在于，所述真空腔(4)放置于机架(1)顶部的V型块槽内，并通过V型块压环固定。

3.根据权利要求1所述的真空密封膜测试装置，其特征在于，所述真空窗(3)和真空腔(4)的快卸法兰端对接，对接口内部添加内密封圈一(5)，对接口外部使用链式法兰卡箍(2)固定。

4.根据权利要求1所述的真空密封膜测试装置，其特征在于，所述真空腔(4)为“L”型结构；所述真空腔(4)靠近分子泵端，添加空气汇流板。