[发明专利]掩模框架组件及其制造方法有效
申请号: | 201710449767.6 | 申请日: | 2017-06-14 |
公开(公告)号: | CN107523786B | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 金相勳 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L51/56 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;刘铮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 框架 组件 及其 制造 方法 | ||
公开了一种掩模框架组件及其制造方法,掩模框架组件包括框架、掩模和分区杆体,其中,掩模联接至框架并且包括用于沉积的图案区域,分区杆体联接至框架并被配置为将掩模的图案区域划分为单位单元图案。分区杆体包括:一对相对的固定端部,其固定至框架的侧边;以及窄宽度部分,其连接一对固定端部并且包括分别从固定端部的在宽度方向上的两个边缘向内凹进的第一分区部分和第二分区部分。
相关申请的交叉引用
本申请要求于2016年6月15日提交的第10-2016-0074731号韩国专利申请的优先权和权益,所述专利申请出于所有目的以引用的方式并入本文,如同全部在本文中阐述一样。
技术领域
示例性实施方式涉及用于沉积薄膜的掩模框架组件以及制造所述掩模框架组件的方法。
背景技术
通常,有机发光器件可以通过在从阳极和阴极注入的空穴和电子于发射层中复合时发射光来显示颜色。有机发光器件通常可以包括具有堆叠型结构的像素,在所述堆叠型结构中,发射层设置在作为阳极的像素电极与作为阴极的相对电极之间。
像素中的每个可以是例如红色像素、绿色像素和蓝色像素中的一种的子像素,并且期望的颜色可以通过这些三色子像素的颜色组合来表达。也就是说,每个子像素具有如下结构:在该结构中,发射红色、绿色和蓝色中的一种的光的发射层设置在两个电极之间,并且单位像素的颜色通过这些三色光的适当组合来表达。
有机发光器件的电极、发射层等可以通过沉积形成。也就是说,具有期望图案的薄膜可以通过以下方式形成在衬底上:布置具有与待形成的薄膜层的图案相同的图案的掩模框架组件,以及通过使用掩模框架组件将薄膜的原材料沉积在衬底上。
在本背景技术部分中公开的以上信息仅为了加强对本发明构思背景的理解,并且因此其可包含并不构成在本国对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
示例性实施方式提供了掩模框架组件及其制造方法,所述掩模框架组件包括用于将掩模的图案区域划分为单位单元图案的分区杆体,其可以防止所述分区杆体在其制造过程期间变形。
其它的方面将在随后的详细描述中阐述,且部分地将从本公开中显而易见,或可通过实践本发明构思来习得。
根据示例性实施方式,掩模框架组件包括框架、掩模和分区杆体,其中,掩模联接至框架并且包括用于沉积的图案区域,分区杆体联接至框架并被配置为将掩模的图案区域划分为单位单元图案。分区杆体包括:一对相对的固定端部,其固定至框架的侧边;以及窄宽度部分,其连接一对固定端部并且包括分别从固定端部的在宽度方向上的两个边缘向内凹进的第一分区部分和第二分区部分。
第一分区部分可以限定单位单元图案的第一边界线,并且第二分区部分可以限定单位单元图案的与第一边界线相对的第二边界线。
第一分区部分可以非线性地连接一对固定端部,并且第二分区部分可以线性地连接一对固定端部。
第一分区部分可以包括彼此交替地设置的凹形部分和突出部分。
可以在凹形部分与突出部分之间相对于宽度方向形成有倾斜部。
第二分区部分可以包括一对阶梯部分和线性部分,其中,所述一对阶梯部分从一对固定端部平行于宽度方向且向内地凹进,所述线性部分线性地连接一对阶梯部分。
掩模可以以直角与分区杆体交叉。
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