[发明专利]二维纳米柔性运动平台及其光栅测量方法

权利要求书

1.一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：

基座；

终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；

X向连接杆和Y向连接杆，所述X向连接杆沿X向定向且所述Y向连接杆沿Y向定向；

两个X向柔性导向件，两个所述X向柔性导向件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性导向件同步运动，每个所述X向柔性导向件与所述基座相连；

两个Y向柔性导向件，两个所述Y向柔性导向件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性导向件同步运动，每个所述Y向柔性导向件与所述基座相连；

两个X向柔性解耦件，两个所述X向柔性解耦件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性解耦件同步运动，两个所述X向柔性解耦件分别与两个所述X向柔性导向件相连，两个所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；

两个Y向柔性解耦件，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性解耦件同步运动，两个所述Y向柔性解耦件分别与两个所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；

X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与两个所述X向柔性导向件中的一个相连，所述Y向驱动器与两个所述Y向柔性导向件中的一个相连；

X向光栅传感器，所述X向光栅传感器分别与所述终端平台和所述X向柔性导向件可拆卸地相连且至少一部分随所述X向柔性导向件一同移动；

Y向光栅传感器，所述Y向光栅传感器分别与所述终端平台和所述Y向柔性导向件可拆卸地相连且至少一部分随所述Y向柔性导向件一同移动，

所述X向光栅传感器包括X向玻璃尺和X向读数头，所述X向玻璃尺安装在所述终端平台上靠近所述X向柔性导向件的一侧边沿，所述X向读数头安装在所述X向柔性导向件上靠近所述终端平台的一端；所述Y向光栅传感器包括Y向玻璃尺和Y向读数头，所述Y向玻璃尺安装在所述终端平台上靠近所述Y向柔性导向件的一侧边沿，所述Y向读数头安装在所述Y向柔性导向件上靠近所述终端平台的一端，

所述X向玻璃尺安装在所述终端平台的上表面，所述X向读数头安装在所述X向柔性导向件的上表面；所述Y向玻璃尺安装在所述终端平台的上表面，所述Y向读数头安装在所述Y向柔性导向件的上表面，

所述X向光栅传感器上设有X向定位凸筋且所述X向柔性导向件上设有X向定位槽，所述X向定位凸筋可拆卸地配合在所述X向定位槽内；所述Y向光栅传感器上设有Y向定位凸筋且所述Y向柔性导向件上设有Y向定位槽，所述Y向定位凸筋可拆卸地配合在所述Y向定位槽内，

所述X向柔性导向件的一部分设于所述X向定位凸筋靠近所述终端平台的一侧，以对所述X向定位凸筋进行限位，所述Y向柔性导向件的一部分设于所述Y向定位凸筋靠近所述终端平台的一侧，以对所述Y向定位凸筋进行限位，

所述终端平台上设有第一限位槽，所述第一限位槽位于所述终端平台靠近所述X向柔性导向件的一端，所述X向玻璃尺的一部分配合在所述第一限位槽内，所述终端平台上设有第二限位槽，所述第二限位槽位于所述终端平台靠近所述Y向柔性导向件的一端，所述Y向玻璃尺的一部分配合在所述第二限位槽内。

2.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，两个所述X向柔性导向件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性导向件在Y向上对称设置，两个所述X向柔性解耦件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性解耦件在Y向上对称设置。

3.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，每个所述X向柔性导向件包括X向内侧板簧、X向外侧板簧和X向刚性连接件，两个所述X向内侧板簧分别与所述X向连接杆的两端相连，所述X向外侧板簧位于所述X向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述X向内侧板簧和所述X向外侧板簧通过所述X向刚性连接件相连，每个所述Y向柔性导向件包括Y向内侧板簧、Y向外侧板簧和Y向刚性连接件，两个所述Y向内侧板簧分别与所述Y向连接杆的两端相连，所述Y向外侧板簧位于所述Y向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述Y向内侧板簧和所述Y向外侧板簧通过所述Y向刚性连接件相连。

4.根据权利要求3所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述X向内侧板簧和所述Y向内侧板簧在竖直方向上的高度低于所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧。