[发明专利]表面处理方法和表面处理装置

权利要求书

1.一种表面处理方法，其中，使作为处理气体的氨气与被加热的由钢制成的处理对象接触，包含在所述氨气中的氮被固溶，因此对所述处理对象进行作为表面处理的氮化处理，其特征在于包括：

通过对其中设置有所述处理对象的惰性气体的空气进行加热，将所述处理对象加热到进行所述氮化处理的氮化处理温度附近的加热温度；以及

通过在将被加热的所述处理对象直接加热到所述氮化处理温度的时候使所述氨气与所述处理对象的表面接触来进行所述氮化处理。

2.根据权利要求1所述的表面处理方法，

其特征在于，在进行所述表面处理时，通过向所述处理对象发射光来直接加热所述处理对象。

3.根据权利要求2所述的表面处理方法，

其特征在于，使用红外灯来进行对所述处理对象的光发射。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的表面处理方法，

其特征在于，所述处理对象为齿轮。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的表面处理方法，

其特征在于，所述加热温度的范围是从比所述氮化处理温度低100℃的温度到比所述氮化处理温度高120℃的温度。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的表面处理方法，

其特征在于，所述加热温度为850℃或更高，并且1200℃或更低。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的表面处理方法，

其特征在于，在加热室内将所述处理对象加热至所述加热温度，并且

其中，在处理室中进行对所述处理对象的表面处理，

所述表面处理方法还包括：

在将所述处理对象加热至所述加热温度之后，将所述处理对象从所述加热室传送至所述处理室。

8.一种表面处理装置，其特征在于包括：

升温单元，其被配置成加热处理对象；以及

处理单元，其被配置成通过使作为处理气体的氨气与由所述升温单元加热的所述处理对象接触并且使包含在所述氨气中的氮固溶，来进行作为表面处理的氮化处理；

其中，所述升温单元包括其中设置所述处理对象的加热室、惰性气体供给单元和第一加热单元，所述惰性气体供给单元被配置成将惰性气体供给到所述加热室的内部，使得所述内部具有惰性气体的空气，所述第一加热单元被配置成通过对其中设置有所述处理对象的所述加热室中的惰性气体的空气进行加热，来将所述处理对象加热到进行所述氮化处理的氮化处理温度附近的加热温度；并且

其中，所述处理单元包括其中设置所述处理对象的处理室、处理气体供给单元和第二加热单元，所述处理气体供给单元被配置成将所述氨气供给至所述处理室，所述第二加热单元被配置成直接将所述处理对象加热到所述氮化处理温度。

9.根据权利要求8所述的表面处理装置，

其特征在于，所述处理室包括在限定所述处理室的壁的至少一部分上的具有透光性的透光壁，并且

其中，所述第二加热单元被设置在所述处理室外部，所述第二加热单元通过所述透光壁向所述处理室中的所述处理对象发射光，并且加热所述处理对象。

10.根据权利要求9所述的表面处理装置，

其特征在于，所述透光壁包括面向所述处理室外部的第一壁和面向所述处理室内部的第二壁，并且在所述第一壁和所述第二壁之间存在空间。

11.根据权利要求9或10所述的表面处理装置，

其特征在于，在所述处理室中设置有安装网，在所述安装网上安装所述处理对象。

12.根据权利要求8至10中任一项所述的表面处理装置，其特征在于，还包括：

传送单元，其被配置成将所述处理对象从所述加热室传送至所述处理室。

13.根据权利要求12所述的表面处理装置，

其特征在于，所述传送单元包括被配置成密封的通道，以及被配置成去除所述通道中的空气的抽吸泵。