[发明专利]微机电系统传感器的气体检测方法、传感器及存储介质

说明书

本发明公开了一种MEMS传感器的气体检测方法、气体传感器及计算机可读取存储介质，所述气体检测方法包括：MEMS传感器首先控制其内部的微加热器工作在第一温度值，并获取检测得到的第一检测值，接着根据第一检测值确定得到第二温度值，这里的第二温度值对应的检测灵敏度高于第一温度值对应的检测灵敏度，第二温度值大于第一温度值，然后MEMS传感器控制其内部的微加热器工作在第二温度值，本发明的气体检测方法相对现有技术能在兼顾低功耗的要求下提高检测值的准确性。

技术领域

本发明涉及MEMS传感器检测领域，尤其涉及一种MEMS传感器的气体检测方法、气体传感器及计算机可读取存储介质。

背景技术

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)传感器日益受到传感器厂家和大众的关注，基于微加热器的各种MEMS传感器逐渐被尝试用于电子产品上，以提高电子产品的小型化、易用性及智能化需求。现有的MEMS传感器普遍存在其灵敏度随温度漂移现象，在传感器工作时多采用恒定温度控制其内部微加热器加热，因而无法自动取得不同浓度的灵敏工作条件，因此存在检测时灵敏度处于较差的情况而影响其检测输出值的准确性。

上述内容仅用于辅助理解本发明的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种MEMS传感器的气体检测方法、气体传感器及计算机可读取存储介质，旨在解决现有的MEMS传感器检测气体参数时，由于其传感器内部采用恒定温度加热带来的检测不准确问题。

为实现上述目的，本发明提供的一种MEMS传感器的气体检测方法，所述气体检测方法包括：

步骤S10、获取所述MEMS传感器工作在第一温度值时检测得到的第一检测值；

步骤S20、根据所述第一检测值确定第二温度值，所述第二温度值对应的检测灵敏度高于所述第一温度值对应的检测灵敏度；

步骤S30、控制所述MEMS传感器工作在所述第二温度值并获取检测得到的第二检测值；

步骤S40、输出所述第二检测值为当前的实际检测值；

步骤S50、控制所述MEMS传感器工作在所述第一温度值。

优选的，所述步骤S20具体包括：

步骤S21、获取所述第一检测值对应的检测值和灵敏度映射关系，获取所述检测值和灵敏度映射关系中的预设灵敏度值；

步骤S22、获取所述检测值和灵敏度映射关系中预设灵敏度值对应的第二温度值。

优选的，所述第二温度值对应的灵敏度值为所述检测值和灵敏度映射关系中的最大灵敏度值。

优选的，所述步骤S50之后还包括：

步骤S60、获取所述MEMS传感器当前检测得到的第三检测值；

步骤S70、判断所述第三检测值与所述第一检测值是否相同，

当第三检测值与所述第一检测值相同时，继续执行步骤S50；

当第三检测值与所述第一检测值不同时，返回执行步骤S20。

优选的，所述MEMS传感器内部还集成流速传感器，所述步骤S30之后还包括：

步骤S80、获取所述流速传感器检测得到的流速值；

步骤S90、判断流速值是否超过预设阀值；

当气体的流速小于所述预设阀值时，执行所述步骤S40；

步骤S100、当气体的流速大于所述预设阀值时，输出提示信息。