[发明专利]线圈组件、等离子体发生装置及等离子体设备

权利要求书

1.一种线圈组件，其特征在于，所述线圈组件从内至外包括多组感应线圈，多组所述感应线圈的输入端电连接，且多组所述感应线圈的输出端沿所述线圈组件周向均匀分布；任意相邻两组所述感应线圈的输出电流之间的相位差不等于180°，以避免相邻两组所述感应线圈之间的容性耦合增强效应；

位于所述线圈组件最内部的一组感应线圈包括第一线圈和第二线圈，所述第一线圈位于所述第二线圈的内圈，所述第一线圈和所述第二线圈串联，所述第一线圈与所述第二线圈的电流流向相同，且所述线圈组件除最内部的感应线圈之外的感应线圈的电流流向均与所述第一线圈和所述第二线圈的电流流向相同。

2.根据权利要求1所述的线圈组件，其特征在于，所述线圈组件包括三组感应线圈；或者，所述线圈组件包括四组感应线圈。

3.根据权利要求1所述的线圈组件，其特征在于，每组所述感应线圈的长度均满足以下公式：

0.01λ≤L≤0.2λ，

其中，L为每组感应线圈的长度；

λ为用于为所述线圈组件供电的射频电源输出的电磁波的波长。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的线圈组件，其特征在于，除位于所述线圈组件最内部的一组感应线圈之外的每组所述感应线圈的输入端与输出端之间的距离都在10mm至25mm之间。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的线圈组件，其特征在于，任意两组感应线圈的长度之间的差值不大于任意一组感应线圈的长度的10％。

6.根据权利要求1至3中任意一项所述的线圈组件，其特征在于，位于所述线圈组件最内部的一组感应线圈的长度与其他任意一组感应线圈的长度之间的差值不大于任意一组感应线圈的长度的10％。

7.根据权利要求1至3中任意一项所述的线圈组件，其特征在于，位于所述线圈组件最内部的一组感应线圈的输入端设置在所述第一线圈上，位于所述线圈组件最内部的一组感应线圈的输出端设置在所述第二线圈上。

8.根据权利要求1至3中任意一项所述的线圈组件，其特征在于，每组感应线圈的长度为230mm至480mm之间。

9.根据权利要求7所述的线圈组件，其特征在于，所述第一线圈的两端之间的距离在10mm至25mm之间，且所述第二线圈的两端之间的距离在10mm至25mm之间。

10.一种等离子体发生装置，所述等离子体发生装置包括依次连接的射频源、匹配器和线圈组件，其特征在于，所述线圈组件为权利要求1至9中任意一项所述的线圈组件，所述匹配器的输出端与所述线圈组件中各组所述线圈的输入端电连接。

11.一种等离子体设备，所述等离子体设备包括等离子体发生装置和工艺腔，所述工艺腔上设置有介质窗，所述等离子体发生装置设置的所述工艺腔外部，其特征在于，所述等离子体发生装置为权利要求10所述的等离子体发生装置，所述线圈组件设置在所述介质窗上方。

12.根据权利要求11所述的等离子体设备，其特征在于，所述等离子体设备还包括线圈调节装置，所述线圈调节装置用于调节所述线圈组件上各组感应线圈与所述介质窗之间的距离。