[发明专利]一种用于观测压电器件受热变形的加热箱结构及使用方法

权利要求书

1.一种用于观测压电器件受热变形的加热箱结构，其特征是：包括：

基座，

设置于基座上的加热箱本体，为一具有可活动上盖的独立密闭箱体，

设置于加热箱本体内侧的压电器件固定板，

设置于压电器件固定板旁边的加热板，

设置于加热箱本体上盖上端、与上盖设置的透光孔位置相对应的激光测量头，

以及设置于加热箱本体内的温度测量模块；

通过加热板对加热箱本体内压电层合梁或器件进行加热，在加热箱本体的保温作用下，温度测量模块监测箱体内温度，激光测量头射出激光束检测压电层合梁或器件的竖直变形位移，以实现观测。

2.如权利要求1所述的一种用于观测压电器件受热变形的加热箱结构，其特征是：所述加热箱本体包括竖直前板、竖直后板、第一侧板、第二侧板和上盖板，所述，竖直前板、第一侧板、竖直后板和第二侧板依次相连接，均垂直于基座上，形成矩形空间，上盖板设置于该矩形空间上端。

3.如权利要求1所述的一种用于观测压电器件受热变形的加热箱结构，其特征是：所述第一侧板包括固定上板和固定下板，所述固定上板和固定下板同时固定于竖直前板和竖直后板上。

4.如权利要求1所述的一种用于观测压电器件受热变形的加热箱结构，其特征是：所述加热板包括两块，加热板分别用固定上板和固定下板对称竖直固定，同时加热板上自带热电偶传感器，用于输出温度信号。

5.如权利要求1所述的一种用于观测压电器件受热变形的加热箱结构，其特征是：所述温度测量模块为中间热电偶，固定于竖直后板上，用于测量加热箱中部压电复合梁或器件的温度。

6.如权利要求1所述的一种用于观测压电器件受热变形的加热箱结构，其特征是：所述压电器件固定板下设置有垫板，以支撑器件固定板并调节被测器件的高度。

7.如权利要求1所述的一种用于观测压电器件受热变形的加热箱结构，其特征是：所述加热箱本体外侧设置有固定支架，固定支架包括前后固定支架和左右固定支架，前后固定支架用于调节激光测量头前后位置，左右固定支架用于调节激光测量头左右位置，共同调节固定激光测量头位置。

8.如权利要求1所述的一种用于观测压电器件受热变形的加热箱结构，其特征是：所述激光测量头为激光干涉仪测量头，可以实时测出压电层合梁或器件的竖直变形位移。

9.如权利要求1所述的一种用于观测压电器件受热变形的加热箱结构，其特征是：所述基板上设置有多个绝缘接线块。

10.基于权利要求1-9中任一项所述的加热箱结构的使用方法，其特征是：通过加热板对加热箱本体内压电层合梁或器件进行加热，在加热箱本体的保温作用下，温度测量模块监测箱体内温度，调节激光测量头的角度，使得其射出激光束检测压电层合梁或器件的竖直变形位移，以实现观测。