[发明专利]具有改进配置的MEMS三轴加速度计

权利要求书

1.一种MEMS三轴加速度计(32)，设置有感应结构(1)，所述感应结构包括：

单个惯性质量块(2)，所述惯性质量块具有在由第一水平轴线(x)和第二水平轴线(y)限定的水平平面(xy)中的主延伸部，并且在内部限定了第一窗口(4)，所述第一窗口沿着与所述水平平面(xy)正交的垂直轴线(z)而横贯所述单个惯性质量块的整个厚度；以及

悬挂结构(29)，所述悬挂结构被安排在所述第一窗口(4)内并且被配置成用于将所述惯性质量块(2)弹性地联接至单个锚固元件(8)，所述悬挂结构相对于衬底(3)被固定并且被安排在所述窗口(4)内，从而使得所述惯性质量块(2)悬挂在所述衬底(3)上方并且能够通过惯性作用执行以下各项：在检测到第一加速度分量(a_x)之后在与所述第一水平轴线(x)平行的第一感测方向(x)上的第一感测移动；在检测到第二加速度分量(a_y)之后沿着与所述第二水平轴线(y)平行的第二感测方向(y)的第二感测移动；以及在检测到第三加速度分量(a_z)之后沿着与所述垂直轴线(z)平行的第三感测方向(z)的第三感测移动，

其中，所述悬挂结构(29)包括：

至少一个第一解除联接元件(6)，所述第一解除联接元件被配置成用于将所述第一、第二和第三感测移动中的至少一个感测移动与所述惯性质量块(2)的其余感测移动解除联接；

第二解除联接元件(20)，所述第二解除联接元件被配置成用于将所述第一、第二和第三感测移动中不同于所述至少一个感测移动的至少一个另外的感测移动与其余感测移动解除联接；

第一弹性元件(10a，10b)，所述第一弹性元件被配置成用于将所述第一解除联接元件(6)弹性地联接至所述第二解除联接元件(20)；

第二弹性元件(12a，12b)，所述第二弹性元件被配置成用于将所述第一解除联接元件(6)弹性地连接至所述惯性质量块(2)；其中，所述第二弹性元件(12a，12b)被配置成用于独立且专门地使能并控制所述至少一个感测移动；以及

第三弹性元件(28a，28b)，所述第三弹性元件被配置成用于将所述第二解除联接元件(20)弹性地连接至所述锚固元件(8)，

其中，所述第二弹性元件(12a，12b)被配置成用于独立且专门地允许并控制所述至少一个感测移动，所述第二弹性元件进一步相对于其他感测移动是刚性的；所述第三弹性元件(28a，28b)被配置成用于独立且专门地允许并控制所述至少一个另外的感测移动，所述第三弹性元件进一步相对于其他感测移动是刚性的；并且所述第一弹性元件(10a，10b)被配置成用于独立且专门地允许并控制所述第一、第二、和第三感测移动当中的其余感测移动，所述第一弹性元件进一步相对于其他感测移动是刚性的。

2.根据权利要求1所述的加速度计，其中，所述至少一个感测移动是共振移动，并且其中，所述第二弹性元件(12a，12b)被配置成用于确定所述至少一个感测移动的振动模式。

3.根据权利要求1或2所述的加速度计，其中，所述第一弹性元件(10a，10b)相对于所述至少一个感测移动是刚性的。

4.根据权利要求1或2所述的加速度计，其中，所述第一弹性元件(10a，10b)是线型类型的并且平行于所述第一水平轴线(x)而延伸，沿着所述第一水平轴线(x)相对于所述锚固元件(8)在相反侧上对准；并且其中，所述第二弹性元件(12a，12b)是折叠类型的并且在所述惯性质量块(2)与所述第一解除联接元件(6)之间延伸，沿着所述第一水平轴线(x)在所述锚固元件(8)的相反侧上对准。

5.根据权利要求1或2所述的加速度计，其中，所述第一、第二和第三感测移动是共振移动，并且其中，所述悬挂结构(29)被配置成用于将每个感测移动与其余感测移动解除联接并且独立且专门地确定其振动模式。