[发明专利]一种AMOLED屏导电氧化物复合膜材料的制备方法

权利要求书

1.一种AMOLED屏导电氧化物复合膜材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将AMOLED玻璃基板置于乳液体系中进行超声清洗15-25min；

(2)将上述超声清洗后的AMOLED玻璃基板安装到溅射腔内，通过抽真空，使溅射腔的背底真空度小于1.0×10-3Pa；

(3)向溅射室中充入溅射气体，调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10-2数量级，总压力为0.5-1.5Pa，溅射功率为90-300W，AMOLED玻璃基板温度为室温，溅射时间为30-90min；

(4)调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10-1数量级，总压力为0.5-1.5Pa，溅射功率为50-200W，基板温度为室温，溅射时间为30-60min；溅射后最终制得透明导电氧化物复合薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种液晶显示屏导电氧化物复合膜材料，其特征在于：所述乳液体系由极性溶剂、非极性溶剂、表面活性剂和添加剂按3：2：3组成。

3.根据权利要求2所述的一种液晶显示屏导电氧化物复合膜材料，其特征在于：所述乳液体系中非极性溶剂为苯、甲苯、二甲苯、氯仿、二氯甲烷、环己烷、己烷等与极性溶剂不相溶的非极性溶剂中的任一种或多种。

4.根据权利要求2所述的一种液晶显示屏导电氧化物复合膜材料，其特征在于：所述乳液体系中表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、十二烷基硫酸钠、双琥珀酸磺酸钠、四丁基溴化铵、蓖麻油聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠、脂肪醇聚氧乙烯、曲拉通、吐温等可形成水包油型乳液的表面活性剂中的任一种或多种。