[发明专利]减压干燥装置、减压干燥系统、减压干燥方法

权利要求书

1.一种减压干燥装置，其特征在于，包括：

支撑部，对涂布有膜的基板进行支撑；

基板收容部，包含可相互连接分离的第1覆盖部及第2覆盖部，将支撑于所述支撑部的所述基板收容于所述第1覆盖部与所述第2覆盖部之间的处理空间；

连接分离驱动部，通过使所述第1覆盖部与所述第2覆盖部相互接触而封闭所述处理空间，另一方面，通过使所述第1覆盖部与所述第2覆盖部相互分离而打开所述处理空间；

减压机构，通过使经封闭的所述处理空间减压，而使涂布于所述基板上的所述膜干燥；以及

排气机构，配置在所述基板收容部的外侧，从相互分离的所述第1覆盖部及所述第2覆盖部各自的周缘部之间排出所述处理空间内的气化成分。

2.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，还包括：供气机构，与所述排气机构排出所述气化成分同时，对所述处理空间供给气体。

3.根据权利要求2所述的减压干燥装置，其特征在于，还包括：

加热板，配置在所述处理空间内，对由所述支撑部支撑的所述基板从所述第2覆盖部之侧进行加热；并且

所述供气机构将气体供给至所述加热板与所述第2覆盖部之间，

所述加热板与所述第2覆盖部之间的间隙将所述供气机构所供给的气体引导至所述第2覆盖部的周缘部。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：所述排气机构在所述处理空间的外侧具有沿所述第2覆盖部的周缘部延伸设置的开口，通过经由相互分离的所述第1覆盖部及所述第2覆盖部各自的周缘部之间从所述开口对所述处理空间内进行抽吸，而排出所述气化成分。

5.根据权利要求4所述的减压干燥装置，其特征在于：所述支撑部在伴随着所述第1覆盖部与所述第2覆盖部相互分离，利用所述排气机构开始排出所述气化成分之后的规定期间，将所述基板支撑于与所述开口相对向的范围内。

6.根据权利要求4所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述排气机构包含设置有所述开口的导管，

所述导管的上表面是朝向外侧下降的倾斜面。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：所述第1覆盖部在与支撑于所述支撑部的所述基板相对向的范围内具有平面。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：所述膜包含聚酰亚胺前体及溶剂。

9.一种减压干燥系统，其特征在于：包括多个根据权利要求1至8中任一项所述的减压干燥装置。

10.根据权利要求9所述的减压干燥系统，其特征在于：所述多个减压干燥装置针对同一所述基板依次执行所述膜的干燥。

11.根据权利要求9所述的减压干燥系统，其特征在于：所述多个减压干燥装置在垂直方向上并列地配置。

12.一种减压干燥方法，其特征在于，包括如下工序：

通过在基板收容部所具有的第1覆盖部与第2覆盖部之间的处理空间内收容着涂布有膜的基板的状态下，使所述第1覆盖部与所述第2覆盖部相互接触而封闭所述处理空间；

通过使经封闭的所述处理空间减压，而使涂布于所述基板上的所述膜干燥；

使所述第1覆盖部与所述第2覆盖部相互分离；以及

利用配置在所述基板收容部的外侧的排气机构，从相互分离的所述第1覆盖部及所述第2覆盖部各自的周缘部之间排出所述处理空间内的气化成分。