[发明专利]一种压电微位移补偿的气动精密定位机构

权利要求书

1.一种压电微位移补偿的气动精密定位机构，包括工作台（16），其特征在于：在所述工作台（16）上一端通过第一连接件（14）和第二连接件（15）支撑设置有气缸（1），在所述工作台（16）上另一端通过第三连接件（8）支撑设置导轨（7），在所述第三连接件（8）上的凹槽内设置有光栅传感器的玻璃尺（9），在所述导轨（7）上设置有第二滑块（6）和第一滑块（4），在所述第一滑块（4）的上方设置压电陶瓷位移放大机构（3），所述气缸（1）的活塞杆与压电陶瓷位移放大机构（3）通过第四连接件（2）串联在一起，所述压电陶瓷位移放大机构（3）的位移输出轴（3-10）与所述第二滑块（6）之间通过第五连接件（5）连接，光栅传感器的第一读数头（13）通过第六连接件（12）和第四连接件（2）与气缸（1）的活塞杆连接，以此来测量气缸（1）相对工作台（16）的位移输出，光栅传感器的第二读数头（11）通过第七连接件（10）、第五连接件（5）与压电陶瓷位移放大机构（3）的位移输出轴（3-10）连接，以此来测量压电陶瓷位移放大器的位移输出轴（3-10）相对工作台（16）的位移输出，即气动精密定位机构的整体位移。

2.根据权利要求1所述一种压电微位移补偿的气动精密定位机构，其特征在于：所述压电陶瓷位移放大机构（3）包括底座（3-1），压电陶瓷固定件（3-2）下端固定在所述底座（3-1）上，所述压电陶瓷固定件（3-2）的上端与液压放大器腔体（3-4）连接，且所述压电陶瓷固定件（3-2）与所述液压放大器腔体（3-4）夹紧大膜片（3-14），所述液压放大器腔体（3-4）的上端与小膜片压盖（3-5）连接，且所述液压放大器腔体（3-4）与所述小膜片压盖（3-5）夹紧小膜片（3-11），所述小膜片压盖（3-5）通过螺纹与弹簧压盖（3-6）配合，光栅传感器的第二玻璃尺（3-9）安装在所述小膜片压盖（3-5）的凹槽内，压电陶瓷制动器（3-3）的底端固定在所述底座（3-1）上，压电陶瓷制动器（3-3）的顶端和硬芯与压电连接件（3-16）的一段相连，所述硬芯包括大硬芯上（3-13）和大硬芯下（3-15），所述大硬芯上（3-13）和大硬芯下（3-15）夹着大膜片（3-14），共同紧固在硬芯与压电连接件（3-16）的另一端，大膜片（3-14）与小膜片（3-11）之间的密闭空间中充满液压油，位移输出轴（3-10）的下端和小硬芯（3-12）夹着所述小膜片（3-11），位移输出轴（3-10）的上端与读数头连接件（3-7）紧固在一起，光栅传感器的第三读数头（3-8）固定在读数头连接件（3-7）上。