[发明专利]工艺腔室气体检测系统及其操作方法

权利要求书

1.一种工艺腔室气体检测系统，其特征在于，包括：

一腔体，配置用于执行化学气相沉积工艺；

一抽气单元；

一抽气管，连接该腔体与该抽气单元；

一连接管，连通该抽气管；以及

一气体检测器，设置于该连接管上，

当该抽气单元将来自该腔体内的一气体经过该抽气管与该连接管而抽取时，该气体检测器检测该气体中的氧气含量。

2.如权利要求1所述的工艺腔室气体检测系统，其特征在于，该当该气体检测器检测该气体的氧气含量时，该腔体内的气体压力小于1x10^-8毫巴。

3.如权利要求1所述的工艺腔室气体检测系统，其特征在于，该气体检测器距离该腔体至少25公尺以上。

4.如权利要求1所述的工艺腔室气体检测系统，其特征在于，当该气体检测器检测该气体的氧气含量时，该腔体内的温度大于600℃。

5.一种工艺腔室气体检测系统的操作方法，其特征在于，包括：

提供一抽气管，连接一腔体与一抽气单元，其中该腔体配置用以执行化学气相沉积工艺；

提供一连接管，连通该抽气管；

设置一第一阀件于该抽气管上；

设置一第二阀件与一气体检测器于该连接管上；

打开该第一阀件，并使该抽气单元对该腔体内的一气体执行一第一次抽气；

打开该第二阀件，使该气体从该抽气管流至该连接管；以及

通过该气体检测器检测该气体中的氧气含量。

6.如权利要求5所述的工艺腔室气体检测系统的操作方法，其特征在于，执行该第一次抽气使该腔体内的压力小于10^-8毫巴。

7.如权利要求5所述的工艺腔室气体检测系统的操作方法，其特征在于，在执行该第一次抽气的步骤后且在打开该第二阀件的步骤前，施加一惰性气体至该腔体内，并使该抽气单元对该腔体内的该气体执行一第二次抽气。

8.如权利要求5所述的工艺腔室气体检测系统的操作方法，其特征在于，在执行该第一次抽气的步骤后且在打开该第二阀件的步骤前，关闭该第一阀件并施加一惰性气体至该腔体内，且使该腔体保持压力5-10分钟，之后再打开该第一阀件并使该抽气单元对该腔体执行一第二次抽气。

9.如权利要求5所述的工艺腔室气体检测系统的操作方法，其特征在于，该气体检测器设置于距离该腔体至少25公尺以上。

10.如权利要求5所述的工艺腔室气体检测系统的操作方法，其特征在于，该检测系统的操作方法更包括：

设置一捕集器于该抽气管上，且该捕集器较该气体检测器更靠近该腔体，当该抽气单元对该腔体内的该气体执行该第一次抽气时，该捕集器过滤该气体中的微粒。