[发明专利]一种摄像镜头表面防结雾处理方法

权利要求书

1.一种摄像镜头表面防结雾处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、对摄像镜头的表面进行处理，然后通过离子溅射法在摄像镜头的表面沉积一层Au薄膜，得到含Au薄膜衬底的摄像镜头；

步骤2、将金属氧化物粉末和氧化铟粉末按质量比为30：1的比例采用液相超声混合的方法混合均匀，然后将混合均匀的混合物真空烘干后得到蒸发源，其中，金属氧化物粉末的粒度为320目；

步骤3、将步骤2制得的蒸发源和步骤1制得的含Au薄膜衬底的摄像镜头放入可控气氛管式炉中，衬底距离蒸发源10-15cm，其中，整个系统预抽真空至1-2Pa，然后通入氩气并保持氩气流量为150 sccm，维持反应室内的压强在120Pa，然后升温后再冷却降温，最后取出摄像镜头即可。

2.如权利要求1所述的摄像镜头表面防结雾处理方法，其特征在于，Au薄膜的厚度为5-10nm，氧化铟粉末的纯度达到98%以上。

3.如权利要求1所述的摄像镜头表面防结雾处理方法，其特征在于，蒸发源处的温度设为1050-1100℃，升温速率控制为10-12℃/min。

4.如权利要求1所述的摄像镜头表面防结雾处理方法，其特征在于，金属氧化物选自氧化锆、氧化锌、二氧化钛、氧化镓、氧化锡其中的一种，且金属氧化物的纯度达到99.0%以上。

5.如权利要求1所述的摄像镜头表面防结雾处理方法，其特征在于，金属氧化物为氧化锆。

6.一种防结雾摄像镜头，采用了权利要求3所述的摄像镜头表面防结雾处理方法，其特征在于，在摄像镜头的表面依次设有Au薄膜和金属氧化物纳米线层，其中，Au薄膜通过离子溅射法形成，其厚度为5-10nm，金属氧化物纳米线层通过热蒸发物理气相沉积法形成。

7.如权利要求6所述的防结雾摄像镜头，其特征在于，金属氧化物纳米线层的制造方法包括以下步骤：

步骤1、对摄像镜头的表面进行处理，然后通过离子溅射法在摄像镜头的表面沉积一层为5-10nm厚的Au薄膜，得到含Au薄膜衬底的摄像镜头；

步骤2、将金属氧化物粉末和氧化铟粉末按质量比为30：1的比例采用液相超声混合的方法混合均匀，然后将混合均匀的混合物真空烘干后得到蒸发源，其中，金属氧化物粉末的粒度为320目，纯度达到99.0%以上，氧化铟粉末的粒度为300目，纯度达到98%以上；

步骤3、将步骤2制得的蒸发源和步骤1制得的含Au薄膜衬底的摄像镜头放入可控气氛管式炉中，衬底距离蒸发源10-15cm，其中，整个系统预抽真空至1-2Pa，然后通入氩气并保持氩气流量为150 sccm，维持反应室内的压强在120Pa，然后升温后再冷却降温，蒸发源所处的温度设为1050-1100℃，升温速率控制为10-12℃/min，最后取出摄像镜头即可。

8.如权利要求6所述的防结雾摄像镜头，其特征在于，金属氧化物选自氧化锆、氧化锌、二氧化钛、氧化镓、氧化锡其中的一种。