[发明专利]一种标准光源和相对辐射定标方法在审
申请号: | 201710470391.7 | 申请日: | 2017-06-20 |
公开(公告)号: | CN107101725A | 公开(公告)日: | 2017-08-29 |
发明(设计)人: | 王秋平;潘从元;费腾;刘旭初 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | G01J5/00 | 分类号: | G01J5/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 230026 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 标准 光源 相对 辐射 定标 方法 | ||
1.一种标准光源,其特征在于,包括:
真空系统和射频电路;
所述真空系统包括真空腔体、真空泵和充气系统;
所述充气系统为所述真空腔体内充气,所述真空泵为所述真空腔体抽气;
所述射频电路包括射频电源和射频电极;
所述射频电极的一部分位于所述真空腔体内;所述射频电源与所述射频电极相连,为所述射频电极提供电能;
所述真空腔体内的气体在所述射频电极的放电下,产生所述气体的等离子体,发射出光。
2.根据权利要求1所述的标准光源,其特征在于,所述充气系统包括气瓶、进气管和流量计,所述气瓶经过流量计与所述进气管相连。
3.根据权利要求1所述的标准光源,其特征在于,所述真空腔体包括观察窗口。
4.根据权利要求3所述的标准光源,其特征在于,所述观察窗口为石英观察窗口。
5.根据权利要求1所述的标准光源,其特征在于,所述真空腔体包括光纤馈入法兰,所述光纤馈入法兰用于将所述真空腔体内的光引出所述真空腔体。
6.一种相对辐射定标方法,其特征在于,包括:
提供标准光源,所述标准光源为权利要求1-5任意一项所述的标准光源;
测量所述标准光源的光谱,得到所述标准光源的光谱图;
对所述光谱图中的谱线进行识别,得到所述标准光源的标准谱线。
7.根据权利要求6所述的相对辐射定标方法,其特征在于,所述测量所述标准光源的光谱,得到所述标准光源的光谱图,具体包括:
采用经过校准后的光谱仪系统对所述标准光源进行光谱测量;
得到所述标准光源的光谱图。
8.根据权利要求7所述的相对辐射定标方法,其特征在于,所述光谱仪系统为使用线性CCD阵列作为探测器的多通道光谱仪。
9.根据权利要求7所述的相对辐射定标方法,其特征在于,所述经过校准后的光谱仪系统为采用标准石英卤钨灯进行相对辐射定标的光谱仪系统。
10.根据权利要求6所述的相对辐射定标方法,其特征在于,所述对所述光谱图中的谱线进行识别,得到所述标准光源的标准谱线,具体包括:
按相同上能级对所述标准光源的光谱图中的谱线进行分组;
预设谱线误差阈值;
将同组谱线的相对强度比与理论谱线分支比进行比较;
筛选出误差小于所述预设谱线误差阈值的谱线;
将筛选出的谱线列表,作为所述标准光源的标准谱线。
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