[发明专利]金属陶瓷衬底及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201710470918.6 申请日: 2017-06-20
公开(公告)号: CN107540384B 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: A·罗特 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L23/15 分类号: H01L23/15;C04B35/622;C04B41/88
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 郑立柱
地址: 德国诺伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 金属陶瓷 衬底 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种用于制造金属陶瓷衬底的方法,所述金属陶瓷衬底具有陶瓷板或陶瓷层和两个金属层,所述两个金属层平面地固定在所述陶瓷层的两个相对表面侧,所述方法至少包括以下步骤:

–在烧结辅助件上提供陶瓷悬浮液,

–将所述陶瓷悬浮液加热到烧结温度,以获得陶瓷层,

–冷却所述陶瓷层,

–以第一金属层涂覆所述陶瓷层的第一表面侧和/或以第二金属层涂覆所述陶瓷层的与所述第一表面侧对置的第二表面侧,

–将在上述步骤中形成的由所述陶瓷层和所述金属层构成的组件加热到键合温度,以通过键合形成在所述陶瓷层和所述金属层之间的复合结构,

–冷却由所述陶瓷层和所述金属层构成的组件,

–如果在以上步骤中所述陶瓷层的仅一个表面侧与金属层键合,则重复上述三个步骤,直至所述陶瓷层的两个表面侧分别与金属层键合,

其特征在于,

所述陶瓷层与有不同屈服强度的金属层键合,其中所述不同屈服强度借助于两个金属层中不同的粒度被预先确定。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述陶瓷层首先仅以一个金属层被涂覆、加热和冷却,其中由所述陶瓷层和所述金属层构成的组件在所述冷却后冷变形。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,由所述陶瓷层和所述金属层构成的组件在位于下方的拱曲的键合辅助件上被加热和键合。

4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,将所述陶瓷悬浮液在拱曲的烧结辅助件上加热并且烧结。

5.一种金属陶瓷衬底,具有陶瓷板或陶瓷层和两个金属层,所述两个金属层平面地固定在所述陶瓷层的两个相对表面侧,

其特征在于,

所述金属陶瓷衬底根据权利要求1至4中任一项所述的方法被制造。

6.根据权利要求5所述的金属陶瓷衬底,其特征在于,两个金属层由相同的金属构成。

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