[发明专利]电推进航天器系统级点火试验溅射靶装置

权利要求书

1.电推进航天器系统级点火试验溅射靶装置，包括主靶和屏蔽罩两部分，其中，屏蔽罩顶部设置有开口用于接收羽流粒子，与开口相对的屏蔽罩底部上设置有主靶，主靶由低溅射率材料制成，屏蔽罩具有多层导流结构，羽流粒子穿过多层导流结构时发生多次碰撞，增大羽流粒子在壁面的吸附概率，未被吸附的羽流粒子被导流结构导向容器内非敏感表面，其中，主靶的靶面设计成球面，保证推力器喷出的羽流粒子垂直或近似于垂直入射到靶面上，靶面中心与屏蔽罩开口中心的距离要保证靶面中心距推力器喷口中心的距离为2000mm以上，球状靶面半径依据下式确定：R_target= d + r/tanθ₉₀，其中r为推力器喷口半径，d为靶面中心距推力器喷口中心的距离，θ₉₀为包含90%束流的羽流粒子半张角，屏蔽罩由多级环片在轴向上叠加而成，各片之间构成径向的羽流粒子导流通道，环片截面为三段折线，中间水平，两端倾斜，使得所述屏蔽罩从径向分为内帷锥面、中间环片、外帷锥面三部分，其截面分别构成内斜面、中间平台、外斜面，相互间形成夹角，使羽流粒子发生多次碰撞折转，内锥面与中间环片交界圆半径等于主靶球冠的底面半径，其中，R_target为主靶靶面对应的球面半径。

2.如权利要求1所述的电推进航天器系统级点火试验溅射靶装置，其中，低溅射率材料为石墨。

3.如权利要求2所述的电推进航天器系统级点火试验溅射靶装置，其中，石墨是高纯石墨。

4.如权利要求1所述的电推进航天器系统级点火试验溅射靶装置，其中，靶面厚度要根据电推力器的羽流粒子流量和羽流粒子能量来确定，靶面厚度为1mm以上。

5.如权利要求1所述的电推进航天器系统级点火试验溅射靶装置，其中，环片由不锈钢制成，但表面贴石墨膜。

6.如权利要求1所述的电推进航天器系统级点火试验溅射靶装置，其中，所有环片被周向上均布的四根不锈钢支杆穿焊在一起，不锈钢支杆固定于底座支架上。

7.如权利要求1所述的电推进航天器系统级点火试验溅射靶装置，其中，屏蔽罩上半部分与下半部分分界的位置为束流半张角θ₉₉与屏蔽罩内缘的交界处。