[发明专利]卷扬提升式RH真空处理系统及其卷扬提升结构和支承装置

权利要求书

1.一种用于卷扬提升式RH真空处理系统的支承装置，包括用于与卷扬装置连接并支承真空室的升降框架，其特征在于：还包括升降框架支承机构，所述升降框架支承机构包括多个第一支承组件，各所述第一支承组件环绕所述升降框架的升降通道布置，每一所述第一支承组件包括第一支腿和用于驱动所述第一支腿在工作位与非工作位之间切换的第一驱动单元，在工作位，所述第一支腿伸至所述升降框架的升降通道上以支承所述升降框架，在非工作位，所述第一支腿偏离所述升降框架的升降通道；

所述升降框架上设有多个第二支承组件，每一所述第二支承组件包括第二支腿和用于驱动所述第二支腿在支承位与非支承位之间切换的第二驱动单元，所述第二支腿的数量与真空室上的真空室支座的数量相同且一一对应配置，在支承位，所述第二支腿伸至对应的所述真空室支座的升降通道上，在非支承位，所述第二支腿偏离对应的所述真空室支座的升降通道。

2.如权利要求1所述的用于卷扬提升式RH真空处理系统的支承装置，其特征在于：各所述第二支腿均为可转动安装于所述升降框架上的旋转支腿，每一所述第二驱动单元驱使对应的所述第二支腿在支承位与非支承位之间转动。

3.如权利要求2所述的用于卷扬提升式RH真空处理系统的支承装置，其特征在于：每一所述第二支腿固连有第一转轴，各所述第一转轴均可转动安装于所述升降框架上，每一所述第一转轴与对应的所述第二驱动单元连接；各所述第一转轴的轴向均为竖向，每一所述第一转轴的顶部和底部分别连接有支承受力机构。

4.如权利要求3所述的用于卷扬提升式RH真空处理系统的支承装置，其特征在于：各所述第一转轴的底部均可转动安装于所述升降框架上，每一所述第一转轴的底部所连接的所述支承受力机构包括第一向心关节轴承和推力关节轴承，所述第一向心关节轴承与所述推力关节轴承均套装于对应的所述第一转轴上且均位于该第一转轴与所述升降框架之间。

5.如权利要求3或4所述的用于卷扬提升式RH真空处理系统的支承装置，其特征在于：每一所述第一转轴的顶部可转动安装于一安装支架上，各所述安装支架均固定于所述升降框架上，每一所述第一转轴的顶部所连接的所述支承受力机构包括第二向心关节轴承，所述第二向心关节轴承套装于对应的所述第一转轴上且位于该第一转轴与对应的所述安装支架之间。

6.如权利要求1所述的用于卷扬提升式RH真空处理系统的支承装置，其特征在于：各所述第一支腿均为旋转支腿，每一所述第一驱动单元驱使对应的所述第一支腿在工作位与非工作位之间转动。

7.如权利要求6所述的用于卷扬提升式RH真空处理系统的支承装置，其特征在于：每一所述第一支承组件还包括轴向为竖向的第二转轴，各所述第二转轴均固定安装于车间结构梁上，每一所述第二转轴上同轴开设有环形安装槽，每一所述第一支腿可转动安装于对应的所述环形安装槽内且与该环形安装槽之间设有装配轴承，每一所述第一支腿与对应的所述第一驱动单元连接。

8.一种RH真空处理系统的卷扬提升结构，包括用于支承真空室的支承装置及用于驱动所述支承装置升降的卷扬装置，其特征在于：所述支承装置采用如权利要求1至7中任一项所述的用于卷扬提升式RH真空处理系统的支承装置，所述升降框架与所述卷扬装置连接。

9.一种卷扬提升式RH真空处理系统，其特征在于：包括如权利要求8所述的RH真空处理系统的卷扬提升结构，真空室支承于所述升降框架上。