[发明专利]太阳能电池的检测方法与检测系统在审
申请号: | 201710475420.9 | 申请日: | 2017-06-21 |
公开(公告)号: | CN109103118A | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 蔡政廷;杨兰昇 | 申请(专利权)人: | 致茂电子(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L31/18 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 215011 江苏省苏州市苏州高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 立体图案 太阳能电池 检测 阴影 检测系统 影像 剥离 剥离状态 照射光束 斜向 正向 撷取 分析 | ||
1.一种太阳能电池的检测方法,用以检测一太阳能电池的一立体图案的剥离状态,其特征在于,该检测方法包含:
斜向照射一光束至该太阳能电池的该立体图案;
正向撷取该太阳能电池的影像;以及
根据该影像中的该立体图案的阴影,判断该立体图案是否剥离。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池的检测方法,其特征在于,根据该影像中的该立体图案的阴影,判断该立体图案是否剥离包含若该阴影的形状为曲线状,判断该立体图案为剥离状态。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池的检测方法,其特征在于,根据该影像中的该立体图案的阴影,判断该立体图案是否剥离包含若该阴影的形状为直线状,判断该立体图案为未剥离状态。
4.根据权利要求1所述的太阳能电池的检测方法,其特征在于,根据该影像中的该立体图案的阴影,判断该立体图案是否剥离包含若无阴影,则判断该立体图案为剥离状态。
5.根据权利要求1所述的太阳能电池的检测方法,其特征在于,根据该影像中的该立体图案的阴影,判断该立体图案是否剥离包含量测该阴影的宽度,用以判断该立体图案是否剥离。
6.根据权利要求1所述的太阳能电池的检测方法,其特征在于,还包含增加该光束的亮度,用以增加该影像中的该立体图案的影像与该阴影的对比度。
7.根据权利要求6所述的太阳能电池的检测方法,其特征在于,该太阳能电池还包含一墨迹,其中增加该光束的亮度,还包含用以增加该墨迹与该阴影的对比度,使该影像中的该墨迹的影像处于过度曝光状态。
8.根据权利要求1所述的太阳能电池的检测方法,其特征在于,还包含将该光束准直为平行光以照射该太阳能电池的该立体图案。
9.一种太阳能电池的检测系统,其特征在于,包含:
一光源,用以提供一光束以斜向照射一待测面;
一撷取装置,用以正向撷取位于该待测面的一太阳能电池的影像;以及
一分析模块,电性连接该撷取装置,其中该分析模块用以根据该影像中该太阳能电池的一立体图案的阴影,判断该立体图案是否剥离。
10.根据权利要求9所述的太阳能电池的检测系统,其特征在于,该光源为平行光源。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造