[发明专利]正型感光性树脂组成物及其应用有效
申请号: | 201710480604.4 | 申请日: | 2017-06-22 |
公开(公告)号: | CN107561863B | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 黄伟杰;吴明儒;施俊安 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 姚亮 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组成 及其 应用 | ||
本发明是有关一种正型感光性树脂组成物及由该正型感光性树脂组成物所形成的保护膜,其用于形成TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜或光波导路的芯材或包覆材,所述保护膜具有绝缘性佳的特性。所述正型感光性树脂组成物包含碱可溶性树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、选自由热酸发生剂及热碱发生剂所组成的群组的至少一种的化合物(C)、环状硅氧烷化合物(D)以及溶剂(E)。
技术领域
本发明是有关于一种适用于液晶显示元件、有机EL显示元件等的TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜或光波导路的芯材或包覆材的正型感光性树脂组成物,及由其形成的保护膜、及具有所述保护膜的元件。其中,特别是提供一种曝光、显影后形成绝缘性佳的保护膜用正型感光性树脂组成物。
背景技术
近年来,在液晶显示器或有机电激发光显示器等领域中,为了可提高清晰度和分辨率,一般是经由增加显示装置的开口率而达成(如日本特许第2933879号公报所公开)。通过于透明的TFT基板用平坦化膜上形成一保护膜,使像素电极与数据线重叠,是与现有技术相比可提高开口率的方法。
TFT基板用平坦化膜的材料必须具有高耐热性、高透明性、低诱电性,因此本行业通常使用醌二叠氮化合物和酚醛树脂的组合(如日本特开平第7-98502号公报所公开)或醌二叠氮化合物和丙烯酸类树脂的组合(如日本特开平第10-153854及特开2001-281853号公报所公开),然而前述材料的耐热性并不理想,再者,当将基板进行高温处理时,亦产生固化膜黄化而造成透明度低下的问题。
尽管已针对前述所需特性提出种种用于制作保护膜的正型感光性树脂组成物,然该等材料的绝缘性要求亦无法令本行业所接收。
因此,目前本行业仍需开发出一种绝缘性佳的正型感光性树脂组成物,以利于液晶显示元件、有机显示元件的发展。
发明内容
本发明利用提供特殊环状硅氧烷化合物的成分,而得到绝缘性佳的正型感光性树脂组成物。
因此,本发明提供一种正型感光性树脂组成物,其包含:
碱可溶性树脂(A);
邻萘醌二叠氮磺酸酯(B);
化合物(C),其是选自由热酸发生剂及热碱发生剂所组成的群组;
式(1)所示结构的环状硅氧烷化合物(D);及
溶剂(E);
式(1)中:
R19及R20表示具有脂环式环氧基(alicyclic epoxy group)的一价基团或烷基,其中,t个R19及t个R20中,至少有一个是为具有脂环式环氧基(alicyclic epoxy group)的一价基团;及
t表示3以上的整数;
其中,所述R19及R20可为相同或不同,多个R19及多个R20可为相同或不同。
本发明亦提供一种于一基板上形成薄膜的方法,其包含使用前述的正型感光性树脂组成物施予所述基板上。
本发明又提供一种基板上的薄膜,其是由前述的方法所制得。
本发明再提供一种装置,其包含前述的薄膜。
具体实施方式
本发明提供一种正型感光性树脂组成物,其包含:
碱可溶性树脂(A);
邻萘醌二叠氮磺酸酯(B);
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