[发明专利]一种四分区相位步进反射镜及制作方法有效
| 申请号： | 201710482618.X | 申请日： | 2017-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN107272096B | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 张淳民;颜廷昱;李祺伟 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 刘强 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分区 相位 步进 反射 制作方法 | ||
1.一种四分区相位步进反射镜，其特征在于，包含后表面平整的玻璃基底(21)，在玻璃基底(21)的后表面镀有复合膜层(22)，所述玻璃基底(21)划分为A、B、C、D四个面积相等的区域；
所述复合膜层(22)共9层，第1层为步进相位调制层，第2层到第7层为增反射层，第8层为反射层，第9层为保护层。
2.根据权利要求1所述的四分区相位步进反射镜，其特征在于，所述玻璃基底(21)上光入射的表面为前表面，光出射的表面为后表面。
3.根据权利要求1所述的四分区相位步进反射镜，其特征在于，第1层膜材料为MgF2，第2层膜材料为TiO2；第3层膜材料为MgF2；第4层膜材料为TiO2；第5层膜材料为MgF2；第6层膜材料为TiO2；第7层膜材料为MgF2；第8层膜材料为银；第9层膜材料为氧化铝。
4.一种权利要求1-2任意一项所述四分区相位步进反射镜的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)从基底开始第1层膜材料为MgF2，A区域厚度为107.82nm，B区域厚度为230.09nm，C区域厚度为352.50nm，D区域厚度为461.51nm，分四次蒸镀；
2)从第2层膜到第7层膜，每层膜A、B、C、D四个区域厚度均相同，四个区域作为整体同时进行蒸镀，膜系方案为：
层次 2 3 4 5 6 7 材料 2]]> 2]]> 2]]> 2]]> 2]]> 2]]> 厚度(nm) 147.76 231.41 148.06 231.42 149.54 228.64
3)第8层膜材料为银，A、B、C、D四个区域厚度均为0.05mm，四个区域作为整体同时进行蒸镀；
4)第9层膜材料为氧化铝，A、B、C、D四个区域厚度均为0.025mm，四个区域作为整体同时进行蒸镀。
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