[发明专利]一种用于调整光学元件位姿的装置及调整方法

权利要求书

1.一种用于调整光学元件位姿的装置，其特征在于，包括：

支撑镜框，用于支撑光学元件；

外镜筒；

环带，所述环带的内侧边缘与所述支撑镜框的外侧边缘相连，所述环带的外侧边缘与所述外镜筒的内侧边缘相连；

微位移传感器，所述微位移传感器设置在所述外镜筒的内侧壁上；

微位移驱动器，所述微位移驱动器设置在所述外镜筒的内侧壁上。

2.根据权利要求1所述的用于调整光学元件位姿的装置，其特征在于，还包括微位移传感器连接座，所述微位移传感器连接座设置在所述外镜筒的内侧壁上，用于安装所述微位移传感器；和微位移驱动器连接座，所述微位移驱动器连接座设置在所述外镜筒的内侧壁上，用于安装所述微位移驱动器。

3.根据权利要求1所述的用于调整光学元件位姿的装置，其特征在于，包括：三个或三个以上微位移传感器，三个或三个以上微位移驱动器，在圆周方向上，每个微位移传感器布置在所述微位移驱动器的中间。

4.根据权利要求1所述的用于调整光学元件位姿的装置，其特征在于，所述装置还包括环带压板，所述环带压板将所述环带固定在所述外镜筒上，所述环带压板将所述支撑镜框安装在所述环带上。

5.根据权利要求1所述的用于调整光学元件位姿的装置，其特征在于，所述支撑镜框通过其外侧边缘周向分布的支撑镜框支臂连接在所述环带上；所述外镜筒通过其内侧边缘周向分布的外镜筒支臂与所述环带相连。

6.根据权利要求4所述的于调整光学元件位姿的装置，其特征在于，所述支撑镜框支臂和所述外镜筒支臂的数量分别为三个或三个以上，在圆周方向上，所述外镜筒支臂与所述支撑镜框支臂互相交错均布。

7.根据权利要求1所述的用于调整光学元件位姿的装置，其特征在于，所述环带的内侧边缘与其外侧边缘同心；所述环带的整体厚度均匀一致。

8.根据权利要求1所述的用于调整光学元件位姿的装置，其特征在于，所述微位移传感器位于所述外镜筒支臂的正下方，与所述支撑镜框的下端面对应；所述微位移驱动器位于所述支撑镜框支臂的正下方，作用在所述支撑镜框的下端面上。

9.根据权利要求1所述的用于调整光学元件位姿的装置，其特征在于，所述微位移传感器采用电容式、涡流式、光栅式或光纤式测量方式；所述微位移驱动器采用压电式、气动式、音圈式或磁滞伸缩式驱动方式。

10.一种调整光学元件位姿的方法，其特征在于，利用权利要求1-9任意一项用于调整光学元件位姿的装置来调整光学元件的位姿。