[发明专利]喷嘴模块、光刻装置及其操作方法

权利要求书

1.一种喷嘴模块，包括：

一喷嘴，其中该喷嘴具有一腔体及一液体输出口；

一毛细管，其中该毛细管连接该液体输出口而与该腔体连通；

一压电元件，其中该压电元件夹持该毛细管；以及

一频率产生元件，其中该频率产生元件设置于该腔体的一外表面，用以对该腔体提供一振荡频率。

2.如权利要求1所述的喷嘴模块，其中该喷嘴及该频率产生元件位于该喷嘴模块的一壳体内，且其中该毛细管从该壳体内延伸至该壳体外，且该压电元件位于该喷嘴模块的该壳体外。

3.如权利要求1所述的喷嘴模块，其中该频率产生元件接触该腔体的该外表面。

4.如权利要求1所述的喷嘴模块，还包括一过滤元件，其中该过滤元件设置于该喷嘴的该液体输出口，且其中该频率产生元件与该毛细管之间的距离大于该过滤元件与该毛细管之间的距离。

5.一种光刻装置，包括：

一液滴产生器，其中该液滴产生器包括如权利要求1至4中任一所述的喷嘴模块；

一射线收集器，其中该射线收集器设置于该液滴产生器下方；以及

一激光光源，其中该激光光源设置于该射线收集器下方。

6.一种光刻装置的操作方法，包括：

在一喷嘴的一腔体内提供一液态靶材，其中一毛细管连接该喷嘴的一液体输出口而与该喷嘴的该腔体连通；

使用一频率产生元件对该腔体提供一振荡频率，其中该频率产生元件设置于该腔体的一外表面；

朝向一射线源腔体内喷出该液态靶材，其中使用连接于该毛细管的一压电元件，以挤压该毛细管以及在该毛细管内流动的该液态靶材，使得喷出的该液态靶材在该射线源腔体内时序地形成多个靶材液滴；

使用一激光光源对该等靶材液滴依次照射一脉冲激光，以在该射线源腔体内产生一射线；以及

使用一射线收集器将该射线引导到该射线源腔体外。

7.如权利要求6所述的光刻装置的操作方法，其中该腔体具有一固有频率，且其中该频率产生元件对该腔体提供的该振荡频率等于该固有频率。

8.如权利要求6所述的光刻装置的操作方法，其中该腔体具有一第一固有频率及一第二固有频率，且其中该频率产生元件对该腔体提供的该振荡频率等于该第一固有频率且不等于该第二固有频率。

9.如权利要求8所述的光刻装置的操作方法，其中该振荡频率及该第一固有频率低于该第二固有频率。

10.如权利要求6至9中任一所述的光刻装置的操作方法，其中该压电元件具有一操作频率，且该操作频率等于该频率产生元件对该腔体提供的该振荡频率。