[发明专利]多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂及其制备方法

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂，其特征在于：包括质量百分比如下的原料组分：

所述粘结剂采用以下方法制备：

(1)将水溶性聚合物、水溶性硅氧烷或羧基改性聚合物、硅酸酯水解液、增塑剂、消泡剂、杀菌剂加入到高纯水中，进行混料处理，得第一混合物料，水溶性聚合物为聚乙二醇、纤维素醚中的至少一种，水溶性硅氧烷或羧基改性聚合物为硅氧烷改性聚乙烯醇、硅氧烷改性聚乙烯吡咯烷酮、羧基改性聚乙烯醇中至少一种；

(2)在30℃-80℃下，所述第一混合物料过交换树脂，除去金属离子，得第二混合物料；

(3)将pH缓冲液加入到所述第二混合物料，进行混料处理，调节pH至3-6，得到多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂。

2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂，其特征在于：所述硅酸酯水解液为硅酸甲酯、硅酸乙酯、硅酸丙酯、硅酸丁酯水解液中的至少一种。

3.如权利要求1所述的多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂，其特征在于：所述增塑剂为乙醇、乙二醇、甘油、聚乙二醇中的至少一种；所述消泡剂为聚醚改性硅氧烷、乳化硅油中的一种或两种。

4.如权利要求1所述的多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂，其特征在于：所述pH缓冲液为醋酸-醋酸铵，柠檬酸-柠檬酸铵中的一种；所述杀菌剂为异噻唑啉酮、戊二醛、甲醛、双氧水中的一种。

5.如权利要求1-4任一项所述的多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂的制备方法，其特征在于：至少包括以下步骤：

(1)按照如权利要求1～4任一项所述的原料配比称取各原料组分；

(2)将水溶性聚合物、水溶性硅氧烷或羧基改性聚合物、硅酸酯水解液、增塑剂、消泡剂、杀菌剂加入到高纯水中，进行混料处理，得第一混合物料；

(3)在30℃-80℃下，所述第一混合物料经过交换树脂，除去金属离子，得第二混合物料；

(4)将pH缓冲液加入到所述第二混合物料，进行混料处理，调节pH至3-6，得到多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂。

6.如权利要求5所述的多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中，混料处理的搅拌速率为100-200r/min，搅拌时间为60-120min；所述步骤(4)中，混料处理的搅拌速率为100-200r/min，搅拌时间为30-60min。

7.如权利要求5所述的多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂的制备方法，其特征在于：所述交换树脂包括氢型阳离子交换树脂、氢型阳离子与氢氧型阴离子混合交换树脂。

8.如权利要求1-4任一项所述的多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂，其特征在于：所述多晶硅铸锭石英坩埚氮化硅涂层用粘结剂应用于多晶硅铸锭石英坩埚的氮化硅涂层免烧结工艺中。