[发明专利]一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉在审
| 申请号： | 201710488874.X | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN109112624A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 余刚;丁一;王剑;姚玖洪 | 申请（专利权）人： | 镇江仁德新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 李帅 |
| 地址： | 212200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 炉体外筒 炉体内筒 夹层空腔 螺旋状导流板 多晶硅片 太阳能级 多晶炉 冷却水 双层玻璃视镜 冷却水出口 冷却水进口 导流冷却 顶部设置 螺旋上升 加压水 导出 炉内 炉体 水冷 生产 流动 保证 | ||
1.一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，其特征在于：包括炉体内筒(2)、炉体外筒(3)，和设置于所述炉体内筒(2)和炉体外筒(3)之间的夹层空腔中的螺旋状导流板(4)；所述炉体外筒(3)底部设置有第一冷却水进口(6)，能够将冷却水导入炉体内筒(2)和炉体外筒(3)之间的夹层空腔中，并沿螺旋状导流板(4)螺旋上升流动；所述炉体外筒(3)顶部设置有第一冷却水出口(1)，能够将炉体内筒(2)和炉体外筒(3)之间的夹层空腔中的冷却水导出。
2.根据权利要求1所述的一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，其特征在于：炉体底部设置有底部法兰(7)。
3.根据权利要求1所述的一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，其特征在于：炉体上设置有水冷双层玻璃视镜(5)。
4.根据权利要求3所述的一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，其特征在于：所述水冷双层玻璃视镜(5)包括通过间隔设置的外层玻璃(12)和内侧玻璃(13)，所述外层玻璃(12)和内侧玻璃(13)之间通过套管隔离；所述套管外侧套有第二法兰(15)，所述第二法兰(15)一侧设置有第三冷却水进口(9)，相对的另一侧设置有第三冷却水出口(16)。
5.根据权利要求4所述的一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，其特征在于：所述第二法兰(15)轴向的两侧分别设置有第一法兰(14)和第三法兰(17)，所述第一法兰(14)、第二法兰(15)和第三法兰(17)通过螺栓(11)和螺母(10)固定连接。
6.根据权利要求4所述的一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，其特征在于：所述内侧玻璃(13)面向炉体一侧设置有能够穿过炉体的双层玻璃视镜内筒(19)和双层玻璃视镜外筒(20)；所述双层玻璃视镜外筒(20)一侧设置有第二冷却水进口(8)，能够将冷却水导入双层玻璃视镜内筒(19)和双层玻璃视镜外筒(20)之间的夹层空腔中；所述双层玻璃视镜外筒(20)相对的另一侧设置有第二冷却水出口(18)，能够将双层玻璃视镜内筒(19)和双层玻璃视镜外筒(20)之间的夹层空腔中的冷却水导出。
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