[发明专利]晶圆刷洗装置

权利要求书

1.晶圆刷洗装置，其特征在于，包括滚刷轴、滚刷、进水端和驱动端；

所述滚刷轴中空，轴壁上有一段设有若干小孔，所述滚刷套设于所述滚刷轴上设有所述小孔的一段并覆盖所有小孔；所述进水端连接于所述滚刷轴的第一端，所述驱动端连接于所述滚刷轴的第二端；所述进水端通过轴承支撑于前侧板上，所述驱动端通过轴承支撑于后侧板上，所述前侧板底端通过连接杆与所述后侧板连接；所述进水端包括中空的进水端主轴，所述进水端主轴第一端连接至进水管接头，第二端与所述滚刷轴卡接；所述驱动端包括驱动端主轴，所述驱动端主轴第一端与所述滚刷轴之间通过锁紧机构连接，第二端连接至电机；

所述锁紧机构包括定心卡套和锁紧螺母，所述定心卡套具有圆柱形内表面；

所述驱动端主轴第一端的端部设有矩形卡口，所述驱动端主轴上远离所述滚刷轴的部分加工有一段螺纹，所述驱动端主轴上毗邻所述滚刷轴部分的外表面为圆柱面，所述圆柱面与所述定心卡套的圆柱形内表面间隙配合；

所述滚刷轴第二端前后为矩形面；所述滚刷轴第二端的矩形面插于所述驱动端主轴的矩形卡口内；

所述锁紧螺母安装于所述驱动端主轴的螺纹上并紧贴所述定心卡套，通过拧紧所述锁紧螺母将所述定心卡套推至与所述滚刷轴紧密接触，从而锁紧所述滚刷轴。

2.根据权利要求1所述的晶圆刷洗装置，其特征在于，所述定心卡套还具有锥形内表面，所述锥形内表面与所述圆柱形内表面相邻；

所述滚刷轴第二端上下为锥形面；

所述滚刷轴第二端的锥形面与所述定心卡套的锥形内表面接触贴合。

3.根据权利要求2所述的晶圆刷洗装置，其特征在于，所述定心卡套的锥形内表面的锥角与所述滚刷轴的锥形面的锥角相同。

4.根据权利要求1-3任一项所述的晶圆刷洗装置，其特征在于，所述驱动端主轴的圆柱面与所述定心卡套的圆柱形内表面之间间隙配合的间隙不大于50um。

5.根据权利要求1-3任一项所述的晶圆刷洗装置，其特征在于，所述进水端主轴第二端的端部径向设有矩形卡口；

所述滚刷轴第一端具有矩形面；

所述滚刷轴第一端的矩形面插于所述进水端主轴的矩形卡口内。

6.根据权利要求5所述的晶圆刷洗装置，其特征在于，所述进水端主轴第二端的端部轴向还设有锥形卡口；

所述滚刷轴第一端还具有锥形面，所述锥形面突出设于所述滚刷轴第一端的矩形面上；

所述滚刷轴第一端的锥形面插于所述进水端主轴的锥形卡口内。

7.根据权利要求1所述的晶圆刷洗装置，其特征在于，所述锁紧机构为销钉或螺钉。