[发明专利]一种钛铝基合金表面防护涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种钛铝基合金表面防护涂层，其特征在于：该钛铝基合金表面防护涂层为Ta-W合金涂层，各组分的组成质量百分比为：Ta为75%-95%，W为5%-25%。

2.根据权利要求1所述的钛铝基合金表面防护涂层，其特征在于，Ta为85%-90%，W为10%-15%。

3.根据权利要求1或2所述的钛铝基合金表面防护涂层，其特征在于，所述钛铝基合金涂层中由表及里Ta、W呈梯度分布。

4.一种钛铝基合金表面防护涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

对钛铝基合金表面进行研磨并抛光至1000#-1200#，然后用体积比为3:1-4:1的乙醇和丙酮制备的清洗剂超声清洗后烘干；

将上述处理好的钛铝基合金和Ta-W靶材装入双辉等离子表面冶金渗金属炉内，以钛铝基合金为工件极，以Ta-W靶材为源极，调节两极之间的间距为15mm-25mm；

对双辉等离子表面冶金渗金属炉进行抽真空至气压为0.2Pa -1.0Pa，通入氩气，启动辉光，控制源极电压为800V-950V，工件电压为450V-550V，工作气压为30Pa-40Pa，工作时间为2h-4h；

停止辉光，断电，完成钛铝基合金表面Ta-W共渗；

将上述所得合金涂层放入真空炉进行退火处理，退火温度300℃-400℃，退火时间2h-3h。

5.根据权利要求4所述的钛铝基合金表面防护涂层的制备方法，其特征在于，所述Ta-W靶材为Ta-W合金靶材或Ta-W混合靶材。

6.根据权利要求5所述的钛铝基合金表面防护涂层的制备方法，其特征在于，所述的Ta-W混合靶材形状为长方体，尺寸是高为3mm-5mm、宽为20mm-25mm、长为65mm-85mm。

7.根据权利要求5所述的钛铝基合金表面防护涂层的制备方法，其特征在于，所述Ta-W合金靶材的形状为圆柱状或长方体。

8.根据权利要求7所述的钛铝基合金表面防护涂层的制备方法，其特征在于，所述的长方体Ta-W合金靶材尺寸是高为3mm-5mm、宽为20mm-25mm、长为65mm-85mm。

9.根据权利要求7所述的钛铝基合金表面防护涂层的制备方法，其特征在于，所述的圆柱状Ta-W合金靶材高度为5mm-10mm，直径为30mm-45mm。

10.根据权利要求4-8任一项所述的钛铝基合金表面防护涂层的制备方法，其特征在于，所述长方体Ta-W合金靶材与Ta-W混合靶材的排列方式为格栅状，排列间距为5mm-10mm。